DE4201944C2

DE4201944C2 - Flüssigkeitsheizeinrichtung

Info

Publication number: DE4201944C2
Application number: DE19924201944
Authority: DE
Inventors: Toshihisa Kamiyama; Masanori Kawaguchi; Tetsuo Takehara
Original assignee: Asahi Glass Co Ltd
Current assignee: AGC Inc
Priority date: 1991-01-24
Filing date: 1992-01-24
Publication date: 2003-04-24
Anticipated expiration: 2012-01-25
Also published as: DE4201944A1; US5271086A

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Flüssigkeitsheizeinrichtung zum kontinuierlichen Erwärmen von zu erhitzender Flüssigkeit wie etwa gereinigtem Wasser, wobei die Aufheizung ohne Verunreinigungen hervorzurufen und mit hohem Wirkungsgrad erfolgt und wobei die Flüssigkeitsheizeinrichtung selbst bei Hochlastbetrieb kompakt ausgebildet sein kann.The present invention relates to a Liquid heating device for continuous heating of liquid to be heated, such as purified water, the heating without causing impurities and done with high efficiency and the Liquid heating device even during high load operation can be compact.

In der Patentschrift US 1 994 765 wird ein elektrischer Wassererhitzer von einem Typ offenbart, der dazu angepasst ist mit einem Behälter verbunden zu sein. Das Wasser wird erhitzt, indem es veranlasst wird über Wärmeaustauschflächen zu fließen, die durch ein Element mit einem elektrischen Widerstand erhitzt werden. Das deutsche Gebrauchsmuster DE 18 44 075 U offenbart einen elektrischen Durchlauferhitzer mit einem Heizwiderstand aus Keramik. Die Offenlegungsschrift DE 34 41 028 A1 offenbart ein elektrisches Heizgerät für Flüssigkeiten, insbesondere zur Verwendung im Haushalt, bei dem ein Rohr durch das die Flüssigkeit fließt, zum Beispiel aus Glas besteht. Die Offenlegungsschrift DE 38 10 624 A1 offenbart einen Durchlauferhitzer mit einem Kanal aus Quarzglas.US 1 994 765 describes an electric water heater of one type disclosed which is adapted to be connected to a container. The water will heated by causing it to flow over heat exchange surfaces through a Element to be heated with an electrical resistor. The German utility model DE 18 44 075 U discloses an electric instantaneous water heater with a heating resistor made of ceramic. The published patent application DE 34 41 028 A1 discloses an electric heater for liquids, especially for use in the household, in which a pipe through the the liquid flows, for example made of glass. The published patent application DE 38 10 624 A1 discloses a water heater with a channel made of quartz glass.

In verschiedenen industriellen Gebieten bestehen Forderungen nach einer Flüssigkeitsheizeinrichtung, die eine Erwärmung einer aufzuheizenden Flüssigkeit mit hohem thermischen Wirkungsgrad und ohne Verursachung einer Kontamination aufgrund von Verunreinigungen, die aus der Wand eines Flüssigkeitsströmungspfads herausgelöst werden, und kleinen Partikeln oder Staub ermöglicht und die selbst bei Hochlastbetrieb kompakt ausgebildet sein kann sowie wirtschaftlich ist.There are demands in various industrial areas after a liquid heater that is heating a liquid to be heated with high thermal Efficiency and without causing contamination due to contaminants coming from the wall of a Liquid flow paths are detached, and small Particles or dust allows and even at High-load operation can be made compact as well is economical.

Als Flüssigkeitsheizeinrichtungen in Form von herkömmlichen elektrischen Widerstandsheizungen sind verschiedene Arten wie etwa ein stabförmiger Heizer, ein plattenförmiger Heizer und ein Heizer mit umhüllter Spule, die in die aufzuheizende Flüssigkeit eingetaucht sind, und eine Heizerart bekannt, bei der der Heizer in die Wand des Flüssigkeitsbades eingebettet ist.As liquid heaters in the form of conventional ones Electric resistance heaters are of different types such as a rod-shaped heater, a plate-shaped heater and a heater with a covered coil, which is in the to be heated Liquid are immersed and a type of heater is known where the heater in the wall of the liquid bath is embedded.

Beispielsweise befindet sich unter der Gattung der eingetauchten Heizer eine Art, bei der ein Nichrom-Draht in einer Quarz-Glasröhre eingeschlossen ist. Vor kurzem wurde eine Ausgestaltung mit positiver elektrischer Widerstand- Temperaturkoeffizienten-Charakteristik (PTC- bzw. Kaltleitercharakteristik) vorgeschlagen, bei der Flüssigkeit durch einen wabenförmigen keramischen Heizer hindurchgeführt wird, sowie ein Typ vorgeschlagen, bei dem ein Strömungspfad für die zu erwärmende Flüssigkeit sich in enger Berührung mit einem plattenförmigen elektrischen Heizer befindet.For example, is under the genus immersed heater a type where a nichrome wire is in a quartz glass tube is enclosed. Recently a design with positive electrical resistance Temperature coefficient characteristic (PTC or PTC characteristics) proposed for the liquid passed through a honeycomb-shaped ceramic heater is proposed, as well as a type in which a flow path for the liquid to be heated in close contact with a plate-shaped electric heater.

Beispielsweise ist in der japanischen ungeprüften Patentveröffentlichung Nr. 204744/1982 eine elektrische Heizeinrichtung für Wasser offenbart, die ein zylindrisches Heizelement aufweist, das durch Gasphasenabscheidung eines Widerstandsheizmaterials auf der inneren und der äußeren Oberfläche eines rohrförmigen keramischen Substrats und durch Beschichten des Widerstandsheizmaterials mit einem dünnen isolierenden keramischen Blatt für die Benutzung der inneren und der äußeren Oberfläche des rohrförmigen Heizelements hergestellt ist, und bei dem Wasser eingeführt wird, derart, daß eine spiralige Strömung in einem an der Außenseite des rohrförmigen Heizelements gebildeten Strömungspfad erzeugt wird, wodurch die Wärmeaustausch- Wirksamkeit bzw. der Wärmetauscherwirkungsgrad erhöht und die Temperaturverteilung des Heizelements vergleichmäßigt wird. Wenn die zu erhitzende Flüssigkeit eine elektrisch leitende Flüssigkeit wie etwa Wasser oder eine Elektrolyt- Lösung ist, sollten die Wände des Strömungspfads der zu erwärmenden Flüssigkeit mit einem Isoliermaterial ausgekleidet sein, so daß die Flüssigkeit gegenüber dem Heizer isoliert ist.For example, Japanese is unchecked Patent Publication No. 204744/1982 an electrical Heater for water reveals a cylindrical Has heating element by a gas vapor deposition Resistance heating material on the inner and outer Surface of a tubular ceramic substrate and by coating the resistance heating material with a thin insulating ceramic sheet for using the inner and outer surfaces of the tubular Heating element is made and introduced into the water is such that a spiral flow in one at the Formed outside of the tubular heating element Flow path is generated, whereby the heat exchange Efficiency or the heat exchanger efficiency increases and the temperature distribution of the heating element is evened out becomes. If the liquid to be heated is electrical conductive liquid such as water or an electrolyte Solution is, the walls of the flow path should be too warming liquid with an insulating material be lined so that the liquid is opposite the Heater is insulated.

In der japanischen ungeprüften Patentveröffentlichung Nr. 98854/1989 ist ein elektrischer Sofort-Wasserheizer mit drei koaxial angeordneten zylindrischen Röhren offenbart, die von innen nach außen gezählt bzw. gesehen einen ersten, einen zweiten und einen dritten Raum bilden. Im zweiten Raum mit zylindrischer Gestalt wird ein Lichtbogenplasma erzeugt und die Hitze des Lichtbogenplasmas auf Wasser übertragen, das im ersten und dritten Raum fließt. Obwohl sich in dieser Veröffentlichung keine Erwähnung bezüglich des Materials dieser Röhren befindet, ist anzunehmen, daß das Material der beiden Röhren, das an der Innenseite zur Erzeugung des Lichtbogenplasmas angeordnet ist, ein elektrisch leitendes Material ist.In Japanese Unexamined Patent Publication No. 98854/1989 is an electric instant water heater with three coaxially arranged cylindrical tubes disclosed by counted inside out or seen a first, one form a second and a third room. In the second room with An arc plasma is generated in a cylindrical shape and transfer the heat of the arc plasma to water flows in the first and third room. Although in this Publication no mention of the material of these tubes, it can be assumed that the material of the two tubes that are on the inside to create the Arc plasma is arranged, an electrically conductive Material is.

Seit kurzem besteht ein Trend zur Benutzung von gereinigtem, chemisch und physikalisch raffiniertem bzw. aufbereitetem Wasser anstelle von bislang verwendeten Mitteln ("flons") zum Waschen von Zwischenprodukten elektronischer Geräte bzw. Elemente wie etwa Halbleiterbauelementen, und es besteht ein wachsendes Bedürfnis nach einer Flüssigkeitsheizeinrichtung, die zur Aufheizung von gereinigtem Wasser ohne Kontaminationsverursachung fähig ist.Recently there has been a trend towards using cleaned, chemically and physically refined or processed Water instead of previously used agents ("flons") for washing intermediate products of electronic devices or Elements such as semiconductor devices, and there is a growing need for a liquid heating device, which for heating purified water without Capable of causing contamination.

Bei einer herkömmlichen Flüssigkeitseinrichtung mit einem Stab- oder drahtförmigen Heizelement besteht allerdings der Nachteil, daß der Heizwert beschränkt ist, da es schwierig ist, einen ausreichenden Wärmeübertragungs- Oberflächenbereich zwischen der Flüssigkeit und dem Heizelement zu erzielen. Um einen ausreichenden Wärmeübertragungs-Oberflächenbereich zu erhalten, muß eine Mehrzahl von Heizern oder ein langer Heizer eingesetzt werden, wodurch es schwierig wird, die Gesamtgröße der Flüssigkaitsheizeinrichtung mit hohem Heizwert kompakt auszugestalten.In a conventional liquid device with a Rod or wire-shaped heating element, however, exists Disadvantage that the calorific value is limited because it is difficult is sufficient heat transfer Surface area between the liquid and the Achieve heating element. To a sufficient To obtain heat transfer surface area, one must Majority of heaters or a long heater used which makes it difficult to determine the overall size of the Compact liquid heater with high calorific value embody.

Bei Einsatz eines herkömmlichen plattenförmigen Heizers geringer Größe ist es schwierig, den Heizwert des Heizers zu erhöhen, so daß es dementsprechend schwierig ist, eine kompakte Flüssigkeitsheizeinrichtung mit hohem Heizwert zu realisieren.When using a conventional plate-shaped heater small size it is difficult to increase the calorific value of the heater increase, so it is difficult to make one compact liquid heating device with a high calorific value realize.

Weiterhin besteht bei Einsatz eines wabenförmigen keramischen Heizen der Nachteil, daß die thermische Wirksamkeit bzw. der thermische Wirkungsgrad um einen Betrag gering bzw. verringert wird, der der Wärmeaufzehrung am Umfang das wabenförmigen keramischen Heizers entspricht.Furthermore, when using a honeycomb ceramic heating the disadvantage that the thermal Effectiveness or thermal efficiency by an amount is low or reduced, the heat consumption on Scope corresponds to the honeycomb ceramic heater.

Weiterhin tritt das Problem elektrischer Leckage bzw. elektrischer Leckströme auf, wenn eine elektrisch leitende Flüssigkeit wie etwa Wasser oder eine Elektrolyt-Lösung aufzuheizen ist. Diesbezüglich ist die Maßnahme möglich, isolierende Röhren in die Durchgangslöcher im wabenförmigen keramischen Heizer einzusetzen, um die Flüssigkeit gegenüber dem Heizer zu isolieren. Allerdings besitzt der wabenförmige Heizer eine Mehrzahl von Durchgangslöchern, in die die isolierenden Röhren einzusetzen sind, und es ist unausweichlich, die große Anzahl von Röhren an beiden Röhrenenden miteinander zu verbinden. Demgemäß bereitet die Durchführung der Verbindung Mühe und großen Arbeitseinsatz, so daß es nicht möglich ist, eine Flüssigkeitsheizeinrichtung mit verringerten Kosten herzustellen. The problem of electrical leakage or electrical leakage currents when an electrically conductive Liquid such as water or an electrolyte solution is to be heated. In this regard, the measure is possible insulating tubes in the through holes in the honeycomb use ceramic heater to oppose the liquid to isolate the heater. However, the honeycomb has Heater a plurality of through holes into which the insulating tubes are used, and it is inevitable, the large number of tubes on both To connect tube ends together. Accordingly, the Performing the connection effort and great labor, so that it is not possible to get a Liquid heater with reduced costs manufacture.

Zudem besteht wie im Fall der Aufheizung von hochreinem Wasser ein starkes Bedürfnis nach einer Flüssigkeitsheizeinrichtung, die zur Aufheizung von gereinigtem Wasser ohne Hervorrufung von Kontamination fähig ist. Wenn jedoch ein herkömmlicher Tauchheizer verwendet wird, wird das Gesamtvolumen einer Flüssigkeitsheizeinrichtung zu groß, um die Temperatur einer beträchtlichen Wassermenge in einem Wasserbad bei einer vorbestimmten Temperatur zu halten. Weiterhin erfordert es hierbei lange Vorlaufzeit, um gereinigtes Wasser mit einer vorbestimmter. Temperatur zu erhalten, und es ist auch die thermische Wirksamkeit bzw. der thermische Wirkungsgrad nicht gut. Daher besteht ein starkes Bedürfnis nach einer Flüssigkeitsheizeinrichtung, die zur Aufheizung reinen Wassers ohne Kontaminationsverursachung fähig ist, guten thermischen Wirkungsgrad besitzt, kompakte Gestaltung mit hoher Belastungskapazität hat, einfach handhabbar ist und zu wirtschaftlichen Kosten bereitstellbar ist.In addition, as in the case of the heating of high purity Water a strong need for one Liquid heating device used for heating purified water capable of causing no contamination is. However, if a conventional immersion heater is used the total volume becomes one Liquid heater too large to reach the temperature of one considerable amount of water in a water bath at a maintain predetermined temperature. It also requires long lead time to clean water with a predetermined. To get temperature, and it's also that thermal effectiveness or the thermal efficiency not good. Therefore, there is a strong need for one Liquid heating device that purely for heating Water is capable of causing good contamination possesses thermal efficiency, compact design with has high load capacity, is easy to handle and too economic costs can be provided.

Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, die Nachteile der herkömmlichen Technik zu eliminieren und eine Flüssigkeitsheizeinrichtung bereitzustellen, die selbst bei hoher Belastungskapazität bzw. hoher Leistung kompakt ist, hohe thermische Wirksamkeit bzw. hohen thermischen Wirkungsgrad besitzt, weniger Vorlaufzeit erfordert, wirtschaftlich und leicht verwendbar ist.It is an object of the present invention that Eliminate disadvantages of conventional technology and a Provide liquid heater, even at high load capacity or high performance is compact, high thermal effectiveness or high thermal Has efficiency, requires less lead time, is economical and easy to use.

In Übereinstimmung mit vorliegender Erfindung wird eine Flüssigkeitsheizeinrichtung geschaffen, die eine nach dem elektrischen Widerstandsheizprinzip arbeitende keramische Heizeinrichtung mit einem ersten und zweiten, jeweils röhrenförmigen Strömungspfad für die Strömung der aufzuheizenden Flüssigkeit aufweist, wobei die beiden Strömungspfade nahe der Innenseite bzw. der Außenseite der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung ausgebildet sind und der erste Strömungspfad für die Flüssigkeit durch eine erste, koaxial innerhalb der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung angeordnete Quarz-Glasröhre umgeben ist sowie der zweite Strömungspfad für die Flüssigkeit zwischen einer zweiten und einer dritten Quarz-Glasröhre ausgebildet ist, die koaxial außerhalb der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung angeordnet sind.In accordance with the present invention, a Liquid heater created one after the electrical resistance heating principle working ceramic Heating device with a first and a second, respectively tubular flow path for the flow of the Has liquid to be heated, the two Flow paths near the inside or outside of the tubular ceramic heater are formed and the first flow path for the liquid through a first, coaxial within the tubular ceramic Heating device arranged quartz glass tube is surrounded as well as the second flow path for the liquid between a second and a third quartz glass tube which is coaxial outside of the tubular ceramic Heating device are arranged.

Bei vorliegender Erfindung wird ein Quarzglas eingesetzt, wie es durch Schmelzen von Quarzkristallen hoher Reinheit für die Erzeugung von Glas erhalten wird, oder es wird Silicaglas verwendet, das aus reinem, durch Hydrolyse- Reaktion von Siliciumtetrachlorid (SiCl₄) oder dergleichen erhaltenem Silica hergestellt ist.In the present invention, quartz glass is used as obtained by melting high-purity quartz crystals for the production of glass, or silica glass made of pure silica obtained by hydrolysis reaction of silicon tetrachloride (SiCl ₄ ) or the like ,

Da bei der erfindungsgemäßen Flüssigkeitsheizeinrichtung die Strömungspfade für die aufzuheizende Flüssigkeit nahe der Innenseite und der Außenseite der keramischen Heizeinrichtung in Form eines elektrischen Widerstandsheizers mit röhrenförmiger Gestalt gebildet sind, werden die innere und die äußere Oberfläche der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung als Wärmeübertragungsoberflächen benutzt, so daß ein großer Wärmeübertragungs- Oberflächenbereich erhalten werden kann. Weiterhin kann eine ausgezeichnete Wärmeübertragung erzielt werden, da die Wärmeübertragung zur aufzuheizenden Flüssigkeit durch effektive Heranziehung sowohl einer Wärmeleitung durch die Wandung der Quarzglasröhre als auch einer Strahlungswärmeübertragung durch die Wandung der Quarzglasröhre aufgrund der Wärmeabstrahlung der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung ausgenutzt wird. Zusätzlich kann nahezu die gesamte erzeugte Wärme von der inneren und der äußeren Oberfläche der Heizeinrichtung auf die zu erhitzende Flüssigkeit übertragen werden, da der Wärmeerzeugungsabschnitt der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung nahezu vollständig durch die Strömungspfade für die aufzuheizende Flüssigkeit umgeben ist, so daß ein exzellenter thermischer Wirkungsgrad erzielbar ist.Since in the liquid heating device according to the invention Flow paths for the liquid to be heated near the Inside and outside of the ceramic Heating device in the form of an electric Resistance heaters are formed with a tubular shape, become the inner and outer surface of the tubular ceramic heater as heat transfer surfaces used so that a large heat transfer Surface area can be obtained. Furthermore, a excellent heat transfer can be achieved since the Heat transfer to the liquid to be heated through effective use of both heat conduction through the Wall of the quartz glass tube as well as one Radiant heat transfer through the wall of the Quartz glass tube due to the heat radiation of the tubular ceramic heater is used. In addition, almost all of the heat generated by the inner and outer surfaces of the heater the liquid to be heated is transferred because of the Heat generating section of the tubular ceramic Heater almost entirely through the flow paths is surrounded for the liquid to be heated, so that a excellent thermal efficiency can be achieved.

Da die erfindungsgemäße Flüssigkeitsheizeinrichtung einen derartigen Aufbau hat, daß die innere und äußere Oberfläche der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung durch das Quarzglas gegenüber der aufzuheizenden Flüssigkeit isoliert sind, kann diese selbst dann benutzt werden, wenn eine elektrisch leitende Flüssigkeit wie etwa Wasser oder eine Wasserlösung zu erwärmen ist.Since the liquid heating device according to the invention one has such a structure that the inner and outer surface the tubular ceramic heater through the Quartz glass insulated from the liquid to be heated , this can be used even if one electrically conductive liquid such as water or a Water solution is to be heated.

Weiterhin sind die Flüssigkeitsströmungspfade bei der erfindungsgemäßen Flüssigkeitsheizeinrichtung vollständig aus Quarzglas gebildet, das gegenüber korrodierender bzw. ätzender Flüssigkeit mit Ausnahme von Flußsäure beständig ist. Ferner ist Quarzglas ein Material, das keine Kontamination der Flüssigkeit mit Verunreinigungen und kleinen Partikeln hervorruft. Zudem ist handelsübliches Quarzglas mit hoher Reinheit leicht erhältlich. Demgemäß ist es möglich, eine Flüssigkeitsheizeinrichtung mit verhältnismäßig niedrigen Kosten bereitzustellen, die zur Aufheizung ultrahochreinen Wassers, wie es für die Herstellung von Halbleitern eingesetzt wird, geeignet und auch zur Aufheizung von ultrahochreinem Wasser ohne Kontamination fähig ist.Furthermore, the liquid flow paths are at Liquid heating device according to the invention completely made of quartz glass, which is Corrosive liquid resistant with the exception of hydrofluoric acid is. Furthermore, quartz glass is a material that none Contamination of the liquid with impurities and small particles. It is also commercially available High purity quartz glass easily available. Accordingly it is possible to use a liquid heater to provide relatively low costs for Heating up ultra high purity water as it is for the Manufacture of semiconductors is used, suitable and also for heating ultra high purity water without Contamination is capable.

Das Quarzglas ist gegenüber Korrosion durch Säure beständig. Demgemäß kann der Strömungspfad selbst bei Kontaminierung durch Waschen mit Säure regeneriert werden. Darüberhinaus besitzt das Quarzglas ausreichende Hitzebeständigkeit, wie sie für ein in dar Nähe der keramischen Heizeinrichtung der Flüssigkeitsheizeinrichtung angeordnetes Material gefordert ist, und hat einen extrem kleinen thermischen Ausdehnungskoeffizienten, so daß es nicht zerbrechen bzw. zerspringen kann, selbst wenn es im Einsatz einer raschen Aufheizung oder Kühlung unterzogen wird. Weiterhin kann eine große Menge der von der keramischen Heizeinrichtung ausgesandten Strahlung effektiv für die Wärmeübertragung eingesetzt werden, da es Infrarotstrahlen durchlassen kann, wodurch das Quarzglas insbesondere bei der erfindungsgemäßen Flüssigkeitsheizeinrichtung als Wandmaterial für die Strömungspfade geeignet ist, das benachbart zur keramischen Heizeinrichtung als Heizquelle eingesetzt wird.The quartz glass is resistant to corrosion by acid. Accordingly, the flow path can be contaminated even can be regenerated by washing with acid. Furthermore the quartz glass has sufficient heat resistance, such as for one in the vicinity of the ceramic heater of the Fluid heater arranged material required is, and has an extremely small thermal Expansion coefficient so that it does not break or can shatter, even if it's in use quickly Is subjected to heating or cooling. Furthermore, a large amount of from the ceramic heater emitted radiation effectively for heat transfer be used because it can transmit infrared rays, whereby the quartz glass in particular in the invention Liquid heating device as wall material for the Flow paths that are adjacent to the ceramic are suitable Heating device is used as a heat source.

Allerdings tendiert das Quarzglas zur Entglasung (Kristallisierung) unter entsprechender Veränderung seiner Eigenschaften, wenn es für lange Zeit auf 700°C oder mehr aufgeheizt wird. Dementsprechend sollte die Betriebstemperatur nicht so hoch sein. Wenn Entglasung aufgetreten ist, werden kleine Partikel abgegeben, wodurch eine Kontamination der aufzuheizenden Flüssigkeit bewirkt wird. Demgemäß ist es vorzuziehen, daß die Betriebstemperatur der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung bei ungefähr 600°C oder niedriger gehalten wird.However, the quartz glass tends to devitrify (Crystallization) with a corresponding change in its Properties when it is at 700 ° C or more for a long time is heated. Accordingly, the Operating temperature should not be so high. If devitrification Small particles are released, causing contamination of the liquid to be heated causes becomes. Accordingly, it is preferable that the Operating temperature of the tubular ceramic Heater maintained at approximately 600 ° C or lower becomes.

Als möglicherweise für die Wände der Strömungspfade mit Ausnahme des Quarzglases verwendetes Material sind Fluorkunststoffe wie etwa Polytetrafluorethylen (PTFE) und hitzebeständige Gläser wie etwa Borsilikatglas zu nennen. Allerdings ist es unvermeidlich, daß ein kleiner Anteil an organischem Material aus dem PTFE in das geheizte gereinigte Wasser austritt und gleichzeitig kleine Partikel abgegeben werden. Demgemäß ist PTFE für die Zwecke der Aufheizung gereinigten Wassers ungeeignet.As possibly using for the walls of the flow paths Materials used are the exception to the quartz glass Fluoroplastics such as polytetrafluoroethylene (PTFE) and heat-resistant glasses such as borosilicate glass. However, it is inevitable that a small percentage of organic material from the PTFE into the heated cleaned Water escapes and at the same time releases small particles become. Accordingly, PTFE is for heating purposes purified water unsuitable.

Da weiterhin die Wärmebeständigkeitseigenschaften von PTFE bis zu nur 300°C reicht und die thermische Leitfähigkeit nicht so gut ist, ist es schwierig, die Temperatur der in der Nähe der Strömungspfade angeordneten rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung zu erhöhen. Daher kann eine Flüssigkeitsheizeinrichtung, die ohne Kontaminierung der aufzuheizenden Flüssigkeit betreibbar ist und kompakte Größe sowie hohen Heizwert besitzt, nicht realisiert werden, solange PTFE als ein Wandmaterial für die Strömungspfade eingesetzt wird.Since the heat resistance properties of PTFE up to only 300 ° C and the thermal conductivity is not that good, it is difficult to adjust the temperature of the tubular near the flow paths increase ceramic heater. Therefore one Liquid heater without contamination of the Liquid to be heated is operable and compact in size as well as high calorific value, cannot be realized, as long as PTFE as a wall material for the flow paths is used.

Wenn Borsilikatglas, dessen Hitzebeständigkeit bis zu nur ungefähr 600°C reicht, als Wandmaterial für den Strömungspfad der aufzuheizenden Flüssigkeit eingesetzt wird, ist die Temperatur der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung auf niedrige werte beschränkt. Da weiterhin der als klein bezeichnete thermische Ausdehnungskoeffizient von Borsilikatglas weitaus größer als der von Quarzglas ist, kann ein thermischer Beanspruchungsbruch auftreten, wenn es rasch aufgeheizt oder gekühlt wird. Weiterhin kann, obwohl Borsilikatglas relativ gute Korrosionsbeständigkeit besitzt, die Abgabe einer kleinen Menge von Verunreinigungen und kleiner Partikel bei hoher Temperatur der aufzuheizenden Flüssigkeit nicht verhindert werden. Dementsprechend kann es mit Ausnahme einer beschränkten Verwendung, bei der kleine Mengen von Verunreinigungen und kleinen Partikeln erlaubt sind, nicht verwendet werden.If borosilicate glass, its heat resistance up to only about 600 ° C is sufficient as wall material for the Flow path of the liquid to be heated used is the temperature of the tubular ceramic Heating device limited to low values. Since continue the thermal expansion coefficient called small borosilicate glass is much larger than that of quartz glass, thermal stress fracture can occur if it is quickly heated or cooled. Furthermore, though Borosilicate glass has relatively good corrosion resistance, dispensing a small amount of impurities and small particles at high temperature to be heated Liquid cannot be prevented. Accordingly, it can with the exception of limited use where small Amounts of contaminants and small particles allowed are not used.

Bei einem bevorzugten Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Flüssigkeitsheizeinrichtung ist das Material der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung aus Silicium und einem Metalloxid, das Aluminiumoxid und Silica als Hauptkomponenten enthält, zusammengesetzt, wobei der Anteil freien Siliciums im Material in einem Bereich von 5 bis 50 Gewichtsprozent liegt.In a preferred embodiment of the Liquid heating device according to the invention is that Material of the tubular ceramic heater Silicon and a metal oxide, the aluminum oxide and silica contains as main components, where the Free silicon content in the material in a range of 5 up to 50 percent by weight.

Da das Material der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung freies Silicium und das Metalloxid als Hauptkomponenten mit einem Anteil des freien Siliciums von 5 bis 50 Gewichtsprozent enthält, nimmt der elektrische Widerstand des Materials der keramischen Heizeinrichtung einen positiven Temperaturkoeffizienten des elektrischen Widerstands an, wodurch es möglich wird, die Heizeinrichtung bis auf ungefähr 600°C aufzuheizen, wohingegen eine herkömmliche Heizeinrichtung, die aus Bariumtitanat-PTC- Material (Keramik, deren Temperaturkoeffizient des elektrischen Widerstands eine positive Zahl ist) besteht, aufgrund einer PTC-Eigenschaften nicht auf über 300°C erhitzt werden kann. Da das Silicium und das Metalloxid enthaltende Material darüberhinaus ein Heizelement bildet, dessen elektrischer Widerstandstemperaturkoeffizient eine positive Zahl ist, wächst der elektrische Widerstand bei Temperaturerhöhung an, wodurch die Gefahr einer Überhitzung des Heizers beseitigt ist. Dementsprechend ist eine Flüssigkeitsheizeinrichtung erzielbar, die eine einfache Temperatursteuerung erlaubt.Because the material of the tubular ceramic heater free silicon and the metal oxide as main components with a proportion of the free silicon from 5 to 50 Contains percent by weight, the electrical resistance decreases of the material of the ceramic heater one positive temperature coefficient of electrical Resistance, which makes it possible for the heater heat up to about 600 ° C, whereas one conventional heater made of barium titanate PTC Material (ceramic, the temperature coefficient of which electrical resistance is a positive number), due to PTC properties not over 300 ° C can be heated. Because the silicon and the metal oxide material containing also forms a heating element, whose electrical resistance temperature coefficient is one is a positive number, the electrical resistance increases Temperature increase, increasing the risk of overheating of the heater is eliminated. Accordingly, one is Liquid heater achievable, the simple Temperature control allowed.

Der Gehalt an freiem Silicium bestimmt die elektrischen Widerstandseigenschaften der keramischen Heizeinrichtung. Demgemäß liegt der metallische Siliciumgehalt vorzugsweise in einem Bereich von 5 bis 50 Gewichtsprozent, um eine keramische Heizeinrichtung mit einer einfach benutzbaren elektrischen Widerstandscharakteristik zu erhalten.The content of free silicon determines the electrical Resistance properties of the ceramic heater. Accordingly, the metallic silicon content is preferably in a range of 5 to 50 percent by weight to a ceramic heater with an easy to use to obtain electrical resistance characteristics.

Die keramische Heizeinrichtung mit dem zuvor genannten Siliciumgehalt strahlt eine große Menge an Infrarotstrahlung einschließlich Strahlung im fernen Infrarot ab, die durch eine einen Flüssigkeitsströmungspfad umgebende Quarzglaswandung hindurchtreten kann und durch Wasser oder eine Wasserlösung absorbiert wird. Dementsprechend kann die Wärmestrahlung effektiv für die Wärmeübertragung herangezogen werden, wenn Wasser oder eine Wasserlösung bzw. eine wäßrige Lösung aufzuheizen ist, und es kann durch Einsatz von Quarzglas als Wandmaterial für den Strömungspfad eine Flüssigkeitsheizeinrichtung mit ausgezeichneter Heizwirkung erzielt werden. The ceramic heater with the aforementioned Silicon content emits a large amount of infrared radiation including radiation in the far infrared a surrounding a liquid flow path Quartz glass wall can pass through and through water or a water solution is absorbed. Accordingly, the Heat radiation effective for heat transfer be used if water or a water solution or an aqueous solution is to be heated up and it can by Use of quartz glass as wall material for the flow path a liquid heater with excellent Heating effect can be achieved.

Bei einem anderen Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Flüssigkeitsheizeinrichtung sind der außerhalb der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung gebildete Strömungspfad und der Strömungspfad innerhalb derselben mittels eines Verbindungsrohrs in Reihe geschaltet. Ein derartiger Aufbau, bei dem der innere und der äußere Strömungspfad in Reihe verbunden sind, kann den möglichen Temperaturbereich der aufzuheizenden Flüssigkeit erweitern.In another embodiment of the invention Liquid heaters are the outside of the tubular ceramic heater formed Flow path and the flow path within it connected in series by means of a connecting tube. On such a structure in which the inner and outer Flow path connected in series can be the possible Extend the temperature range of the liquid to be heated.

Im Falle des Waschens von Siliciumwafern oder Magnetplattensubstraten wird eine Temperatur des gereinigten Wassere von 90°C als wünschenswert angesehen, um die Artikel nach dem Waschen rasch zum Trocknen schlußzubearbeiten bzw. zu trocknen. Wenn eine Mehrzahl von Flüssigkeitsheizeinrichtungen in Reihe geschaltet ist, ist es einfach, das gereinigte Wasser auf eine solche Temperatur aufzuheizen. Gemäß diesem Ausführungsbeispiel kann eine Flüssigkeitsheizeinrichtung bereitgestellt werden, die einfach anzuwenden ist und einen breiten Einsatzbereich besitzt.In the case of washing silicon wafers or Magnetic disk substrates will be a temperature of the cleaned Water of 90 ° C is considered desirable to the item to finish quickly after washing or to dry to dry. If a plurality of Liquid heaters is connected in series it simply the purified water to such a temperature heat. According to this embodiment, a Liquid heater are provided which is easy to use and has a wide range of uses has.

Gemäß einem weiteren Ausführungsbeispiel vorliegender Erfindung wird die Temperatur der aufzuheizenden Flüssigkeit durch Steuerung der elektrischen Leistung derart geregelt, daß die Temperatur der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung auf der Basis eines Temperatursignals eines an der Einlaßöffnung der Flüssigkeit angeordneten Temperatursensors, eines Temperatursignals eines an der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung angebrachten Temperatursensors und eines Durchflußratensignals eines an einem Einlaßrohr bzw. -schlauch für die der Flüssigkeitsheizeinrichtung zuzuführende Flüssigkeit angeordneten Durchflußsensors bzw. Strömungssensors auf einer vorbestimmten Temperatur gehalten wird. Da der zweite Temperatursensor an der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung angebracht ist, wird die Temperatur der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung direkt erfaßt, wodurch die Temperatur der Heizeinrichtung direkt gesteuert werden kann.According to a further exemplary embodiment Invention is the temperature of the liquid to be heated regulated by controlling the electrical power in such a way that the temperature of the tubular ceramic Heating device based on a temperature signal arranged at the inlet opening of the liquid Temperature sensor, a temperature signal one at the tubular ceramic heater attached A temperature sensor and a flow rate signal an inlet pipe or hose for the Liquid heater to be supplied liquid arranged flow sensor or flow sensor a predetermined temperature is maintained. Because the second Temperature sensor on the tubular ceramic Heater is attached, the temperature of the tubular ceramic heater directly detected, which directly controls the temperature of the heater can be.

Die Temperatursteuerung der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung auf eine vorbestimmte Temperatur unter Berücksichtigung der Strömungsrate der aufzuheizenden Flüssigkeit und der Temperatur der Flüssigkeit an der Einlaßöffnung wird in folgender Weise durchgeführt. Die Klammertemperaturen bzw. Solltemperaturen (hold-on- temperatures) der aufzuheizenden rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung werden zuvor als Daten, beispielsweise über Versuche, auf der Grundlage der Temperatur der Flüssigkeit an der Einlaßöffnung und den Strömungsraten bzw. Durchflußraten der Flüssigkeit sowie der Temperaturen der aufzuheizenden Flüssigkeit gesammelt, und es wird die Klammer-Temperatur bzw. Solltemperatur der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung zur Erzielung einer gewünschten Flüssigkeitstemperatur auf der Grundlage der derart erhaltenen Daten bestimmt, wodurch die Temperatur der von der Flüssigkeitsheizeinrichtung abgegebenen Flüssigkeit rasch auf eine gewünschte Temperatur bzw. Solltemperatur gesteuert werden kann.The temperature control of the tubular ceramic Heater to a predetermined temperature below Taking into account the flow rate of the to be heated Liquid and the temperature of the liquid at the Inlet opening is carried out in the following manner. The Bracket temperatures or target temperatures (hold-on temperatures) of the tubular ceramic to be heated Heater are previously as data, for example about Try based on the temperature of the liquid at the inlet opening and the flow rates or Flow rates of the liquid and the temperatures of the liquid to be heated is collected and it becomes the Bracket temperature or target temperature of the tubular ceramic heater to achieve a desired Liquid temperature based on such data obtained determines what the temperature of the liquid heater dispensed liquid quickly to a desired temperature or target temperature can be controlled.

Es gibt verschiedene Wege der Steuerung der Temperatur der Flüssigkeit an der Auslaßöffnung der Flüssigkeitsheizeinrichtung, da einige Parameter vorhanden sind. Obwohl einige von den jeweils ergriffenen wegen abhängende Phänomene bzw. Erscheinungen dahingehend existieren, daß eine gewisse Zeit benötigt wird, in der die Temperatur der Flüssigkeit an der Auslaßöffnung auf die gewünschte Temperatur konvergiert sowie die Temperatur der Flüssigkeit an der Auslaßöffnung aufgrund einer Veränderung eines der Parameter oszillierend schwankt, können derartige Phänomene durch direkte Steuerung der Temperatur der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung beseitigt werden. There are different ways of controlling the temperature of the Liquid at the outlet of the Liquid heater because some parameters are present are. Although some of the reasons taken dependent phenomena or phenomena to that effect exist that a certain time is required in which the Temperature of the liquid at the outlet opening on the desired temperature converges as well as the temperature of the Liquid at the outlet opening due to a change one of the parameters fluctuates oscillatingly, such Phenomena by directly controlling the temperature of the tubular ceramic heater are eliminated.

Die Temperatursteuerung wird vorzugsweise unter Einsatz eines Mikrocomputers ausgeführt. Beispielsweise werden Daten über die den. Strömungs- oder Durchflußraten entsprechenden Temperaturen der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung, über die Temperaturen am Einlaß der aufzuheizenden Flüssigkeit und über die Temperaturen der aufgeheizten Flüssigkeit vorab in dem Speicher des Mikrocomputers gespeichert und die anzulegende elektrische Spannung bzw. Strom derart gesteuert, daß die Temperatur der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung zu einer vorbestimmten, auf der Basis der gesammelten Daten bestimmten Temperatur wird, wodurch die Ausströmungstemperatur der Flüssigkeit an der Auslaßöffnung rasch auf die gewünschte Temperatur eingestellt werden kann.The temperature control is preferably used a microcomputer. For example, data about the. Corresponding to flow or flow rates Temperatures of the tubular ceramic heater, about the temperatures at the inlet of the to be heated Liquid and about the temperatures of the heated Liquid in advance in the memory of the microcomputer stored and the electrical voltage to be applied or Current controlled so that the temperature of the tubular ceramic heater to a predetermined one on the Based on the collected data certain temperature is whereby the outflow temperature of the liquid at the Outlet quickly to the desired temperature can be adjusted.

Wenn diese Daten nicht zuvor gesammelt wurden, kann die Temperatur der aus der Flüssigkeitsheizeinrichtung austretenden Flüssigkeit überwacht werden, so daß die Temperatur der aufgeheizten Flüssigkeit auf eine Solltemperatur gesteuert wird, wobei allerdings dieses Verfahren eine gewisse Vorlauf- oder Vorhaltezeit erfordert.If this data has not previously been collected, the Temperature of the liquid heater escaping liquid are monitored so that the Temperature of the heated liquid to a Setpoint temperature is controlled, but this Procedure requires a certain lead time.

Bei einem anderen bevorzugten Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Flüssigkeitsheizeinrichtung ist eine aus einer hohlen Quarzglasröhre bzw. einem hohlen Quarzglasrohr geformte Kernröhre in einen durch eine erste, innerhalb der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung angeordnete Quarzglasröhre gebildeten Strömungspfad eingebracht und es ist am Umfang der Kernröhre bzw. des Kernrohrs an einer Position nahe ihres stromaufseitigen Endes des Strömungspfads für die aufzuheizende Flüssigkeit ein Lauf- oder Flügelrad befestigt, wobei jedes freie Ende der Blätter bzw. Schaufeln des Lauf- oder Flügelrads sich in Berührung mit der inneren Wandoberfläche der ersten Quarzglasröhre befindet, so daß die Kernröhre bzw. das Kernrohr koaxial innerhalb der ersten Quarzglasröhre angeordnet ist.In another preferred embodiment of the Liquid heating device according to the invention is one of a hollow quartz glass tube or a hollow quartz glass tube shaped core tube into one by a first one, inside the tubular ceramic heater arranged Quartz glass tube formed flow path and introduced it is on the circumference of the core tube or the core tube at one Position near its upstream end of the Flow path for the liquid to be heated a running or impeller attached, with each free end of the blades or blades of the impeller or impeller come into contact with the inner wall surface of the first quartz glass tube located so that the core tube or the core tube coaxial is arranged within the first quartz glass tube.

Die Einfügung der aus der hohlen Quarzglasröhre bestehenden Kernröhre in die erste Quarzglasröhre ermöglicht eine Vergrößerung der äußeren Durchmessers des in der ersten Quarzglasröhre gebildeten Strömungspfads, so daß der Wärmeübertragungs-Oberflächenbereich vergrößert werden kann, um die Querschnittsfläche des Strömungspfads der aufzuheizenden Flüssigkeit zu verringern, während die Strömungsgeschwindigkeit der Flüssigkeit erhöht werden kann. Zusätzlich führt die Einfügung des an der Kernröhre befestigten Flügelrads zu einer Umlenkung der Flüssigkeitsströmung in eine spiralförmige Strömung, so daß die Strömungsgeschwindigkeit der Flüssigkeit noch weiter erhöht werden kann. Dementsprechend kann die Strömungsgeschwindigkeit der den Strömungspfad passierenden Flüssigkeit leicht auf mehr als 3000 in der Reynolds-Zahl vergrößert werden, wodurch eine turbulente Strömung hervorgerufen wird, und die Wärmeübertragungsfunktion kann progressiv erhöht bzw. verbessert werden.The insertion of the hollow quartz glass tube A core tube in the first quartz glass tube enables one Enlargement of the outer diameter of the first Quartz glass tube formed flow path, so that the Heat transfer surface area can be increased around the cross-sectional area of the flow path of the to reduce the liquid to be heated while the Flow rate of the liquid can be increased. In addition, the insertion of the leads to the core tube attached impeller to deflect the Liquid flow into a spiral flow so that the flow rate of the liquid still further can be increased. Accordingly, the Flow velocity of those passing the flow path Liquid slightly to more than 3000 in the Reynolds number be enlarged, creating a turbulent flow is caused, and the heat transfer function can be progressively increased or improved.

Da das Flügelrad die Kernröhre im Zentrum der ersten Quarzglasröhre fixiert bzw. festhält, kann die Kernröhre ohne Ablenkung aufgrund der im Strömungspfad fließenden Flüssigkeit gehalten, die Dicke bzw. Breite des zwischen dem ersten Quarzglas bzw. der ersten Quarzglasröhre und der Kernröhre gebildeten Strömungspfads für die aufzuheizende Flüssigkeit gleichmäßig aufrechterhalten und die Wärmeübertragung von der inneren Oberfläche der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung gleichförmig und effektiv durchgeführt werden.Because the impeller is the core tube at the center of the first Quartz glass tube fixed or holds, the core tube without distraction due to the flowing in the flow path Liquid kept the thickness or width of the between the first quartz glass or the first quartz glass tube and the Core tube formed flow path for the to be heated Maintain fluid evenly and Heat transfer from the inner surface of the tubular ceramic heater uniform and effective be performed.

Vorzugsweise ist das stromaufseitige Ende der Kernröhre semi-sphärisch oder halbkugelförmig oder stromlinienförmig ausgebildet, so daß die aufzuheizende Flüssigkeit gleichmäßig strömen kann und der Strömungswiderstand nicht groß wird.Preferably, the upstream end of the core tube semi-spherical or hemispherical or streamlined trained so that the liquid to be heated can flow evenly and the flow resistance cannot gets big.

Bei einem anderen bevorzugten Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Flüssigkeitsheizeinrichtung liegen die Abstände zwischen den Oberflächen der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung und beiden Oberflächen der ersten und zweiten, nahe den Oberflächen der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung angeordneten Quarzglasröhren bei 1,2 mm oder weniger. Zwischen den Oberflächen der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung und den Oberflächen der ersten und der zweiten Quarzglasröhre befinden sich folglich Spalte bzw. Zwischenräume, die normalerweise Luftschichten bilden. Die Dicke der Luftschichten ist vorzugsweise 1,2 mm oder weniger, da die Wärmeübertragung um so besser ist, je dünner die Luftschichten sind.In another preferred embodiment of the Liquid heating device according to the invention are the Distances between the surfaces of the tubular ceramic heater and both surfaces of the first and second, near the surfaces of the tubular ceramic heater arranged quartz glass tubes 1.2 mm or less. Between the surfaces of the tubular ceramic heater and the surfaces the first and second quartz glass tubes are located hence gaps or spaces that normally Form layers of air. The thickness of the air layers is preferably 1.2 mm or less because of the heat transfer around the better the thinner the layers of air.

Obwohl die Dicke der Luftschichten durch Erhöhung der Rundheit der inneren und äußeren Umfangsoberflächen der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung und der Rundheit der Wand des Strömungspfads für die aufzuheizende Flüssigkeit, d. h. der Quarzglasröhre, bis auf 0,1 mm verringert werden kann, liegt die Dicke der Luftschichten vorzugsweise in einem Bereich von 0,3 mm bis 1,0 mm unter Berücksichtigung des für die Bearbeitung der Materialien benötigten Arbeitsaufwands. Es ist möglich, die Wärmeübertragungs-Balance von der Innenseite und der Außenseite der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung durch Einstellung der Dicke der Luftschichten einzustellen. Die thermische Leitfähigkeit der Luftschichten ist gering. Dementsprechend kann die Wärmeübertragung weiter verbessert werden, wenn Überlegungen zur Verbesserung der Wärmeübertragungsfunktion dieser Schichten angestellt werden. Beispielsweise ist es ein effektiver Weg, die Flüssigkeitsheizeinrichtung in einen mit Heliumgas gefüllten Behälter einzubringen und die Luftschichten durch Haliumgasschichten zu ersetzen.Although the thickness of the air layers by increasing the Roundness of the inner and outer peripheral surfaces of the tubular ceramic heater and roundness the wall of the flow path for the one to be heated Liquid, d. H. the quartz glass tube, down to 0.1 mm can be reduced, the thickness of the air layers preferably in a range from 0.3 mm to 1.0 mm below Taking into account the processing of materials required labor. It is possible that Heat transfer balance from the inside and the Outside of the tubular ceramic heater by adjusting the thickness of the air layers. The thermal conductivity of the air layers is low. Accordingly, the heat transfer can be further improved when considering how to improve Heat transfer function of these layers become. For example, it is an effective way that Liquid heater in a filled with helium gas Introduce containers and through the air layers To replace halium gas layers.

Bei Aufheizung einer einzigen Art von Flüssigkeit ist es bevorzugt, die Flüssigkeitspfade, die an der Innenseite und der Außenseite der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung angeordnet sind, mittels einer Verbindungsröhre in Serie bzw. Reihe zu verbinden, da eine große Wärmeübertragungsfähigkeit durch Erhöhung der Strömungsgeschwindigkeit der Flüssigkeit in den Strömungspfaden erzielbar ist, wodurch es einfach ist, die aufzuheizende Flüssigkeit auf eine hohe Temperatur zu erwärmen.When heating a single type of liquid, it is preferred, the fluid paths on the inside and the outside of the tubular ceramic heater are arranged by means of a connecting tube in series or row to connect, as a large Heat transfer ability by increasing the Flow velocity of the liquid in the Flow paths are achievable, making it easy to find the one Liquid to be heated to a high temperature heat.

Weiterhin kann die Temperatur des Außenbereichs der Flüssigkeitsheizeinrichtung auf niedrigem Pegel gehalten und geringe Wärmeverluste der Flüssigkeitsheizeinrichtung erzielt werden, wenn die aufzuheizende Flüssigkeit mit niedriger Temperatur zunächst dem Strömungspfad außerhalb der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung zugeführt wird und danach die auf erhöhte Temperatur erwärmte Flüssigkeit in den Strömungspfad innerhalb der Heizeinrichtung geführt wird, wodurch der thermische Wirkungsgrad erhöht werden kann.Furthermore, the temperature of the outside of the Liquid heater kept low and low heat loss of the liquid heating device can be achieved when using the liquid to be heated low temperature first the flow path outside is supplied to the tubular ceramic heater and then the heated liquid led into the flow path within the heater becomes, which increases the thermal efficiency can.

Es ist selbstverständlich eine effektive Möglichkeit, die Außenseite der dritten Quarzglasröhre mit einem isolierenden Material zu bedecken bzw. beschichten.It is of course an effective way to do that Outside of the third quartz glass tube with an insulating Cover or coat material.

Bei einem weiteren bevorzugten Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Flüssigkeitsheizeinrichtung sind Abstandshalter zwischen der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung und der ersten oder der zweiten Quarzglasröhre an Positionen nahe den beiden Enden der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung angeordnet, und es ist die Länge in Axialrichtung des Wärmeerzeugungsabschnitts der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung kürzer als die Länge des außenseitigen Strömungspfads für die Flüssigkeit in derselben Richtung, wobei der Wärmeerzeugungsabschnitt der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung vollständig durch die Strömungspfade der aufzuheizenden Flüssigkeit umgeben ist und die Abstandshalter sich nicht mit dem Wärmeerzeugungsabschnitt der Heizeinrichtung überlappen.In a further preferred embodiment of the are liquid heater according to the invention Spacers between the tubular ceramic Heating device and the first or the second Quartz glass tube at positions near the two ends of the tubular ceramic heater arranged, and it is the length in the axial direction of the heat generating section the tubular ceramic heater is shorter than that Length of the outside flow path for the liquid in the same direction, with the heat generating section the tubular ceramic heater completely through the flow paths of the liquid to be heated is surrounded and the spacers are not with the Heat generating section of the heater overlap.

Elektrodenbereiche an beiden Enden der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung sind derart ausgebildet, daß ihr elektrischer Widerstand kleiner als der des Wärmeerzeugungsabschnitts ist. Beispielsweise ist Silicium in die Elektrodenbereiche imprägniert bzw. eingebracht oder es ist Aluminium auf die Oberfläche der Elektrodenbereiche flammgespritzt bzw. thermisch gespritzt, um die Wärmeerzeugung zu minimieren. Mit den Elektrodenbereichen sind Zuführungsdrähte verbunden, um Strom bzw. Spannung von einer Strom- bzw. Spannungsquelle zuzuführen.Electrode areas at both ends of the tubular ceramic heater are designed so that you electrical resistance less than that of Heat generating section is. For example, silicon impregnated or introduced into the electrode areas or it's aluminum on the surface of the electrode areas flame sprayed or thermally sprayed to the To minimize heat generation. With the electrode areas are lead wires connected to current or voltage of to supply a current or voltage source.

Bei dem vorstehend beschriebenen Aufbau, bei dem nahezu der gesamte Wärmeerzeugungsabschnitt der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung durch die mittels der Quarzglasröhren gebildeten Strömungspfade für die aufzuheizende Flüssigkeit umgeben ist und die Abstandshalter derart angeordnet sind, daß sie nicht mit dem Wärmeerzeugungsabschnitt der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung überlappen, kann eine aus isolierenden Eigenschaften der Abstandshalter resultierende Überhitzung der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung verhindert werden, wodurch die Beständigkeit bzw. Lebensdauer der Heizeinrichtung sichergestellt ist und Wärmeverluste von dem überheizten Bereich vermieden werden können.In the structure described above, in which almost the entire heat generating section of the tubular ceramic heater by means of the Quartz glass tubes formed flow paths for the Liquid to be heated is surrounded and the spacers are arranged so that they are not with the Heat generating section of the tubular ceramic Heater overlap, one can be insulating Properties of the spacer resulting overheating the tubular ceramic heater is prevented be, which the durability or life of the Heating device is ensured and heat loss from the overheated area can be avoided.

Für die Abstandshalter wird vorzugsweise ein Streifen oder ein Hand mit Hitzebeständigkeit und elektrischen Isoliereigenschaften verwendet, der bzw. das beispielsweise durch Verweben von Monofilamenten bzw. Endlosgarnen aus E- Glas oder Quarzglas hergestellt ist. Solch ein Band wird in Ringform auf die erste Quarzglasröhre oder die rohrförmige keramische Heizeinrichtung an Stellen nahe von deren Enden aufgewickelt und die rohrförmige keramische Heizeinrichtung oder die zweite Quarzglasröhre an die zuvor erwähnte erste Quarzglasröhre oder die rohrförmige keramische Heizeinrichtung an einer Position außerhalb des Bands eingepaßt bzw. angesetzt. Die Abstandshalter bewirken die Funktionen, daß der Abstand zwischen der Oberfläche der jeweiligen Quarzglasröhren und der Oberfläche der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung auf einem vorbestimmten und gleichförmigen Wert gehalten werden kann, wobei Bewegungsverschiebungen der Röhren aufgrund einer thermischen Ausdehnungsdifferenz absorbiert werden können, daß eine partielle Überheizung oder eine ungleichmäßige Temperaturverteilung oder eine durch ungleichmäßige Wärmeübertragung hervorgerufene teilweise Siedeerscheinung der aufzuheizenden Flüssigkeit vermieden werden kann und daß die Beständigkeit bzw. Lebensdauer der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung aufrechterhalten werden kann.A strip or is preferably used for the spacers a hand with heat resistance and electrical Insulation properties used, for example by weaving monofilaments or continuous yarns from E- Glass or quartz glass is made. Such a band will be in Ring shape on the first quartz glass tube or the tubular one ceramic heater at locations near their ends wound up and the tubular ceramic heater or the second quartz glass tube to the aforementioned first Quartz glass tube or the tubular ceramic Heater at a position outside the belt fitted or scheduled. The spacers do that Functions that the distance between the surface of the respective quartz glass tubes and the surface of the tubular ceramic heater on one predetermined and uniform value can be maintained where movement shifts of the tubes due to a thermal expansion difference can be absorbed that partial overheating or uneven Temperature distribution or one by uneven Partial boiling caused by heat transfer the liquid to be heated can be avoided and that the durability or lifespan of the tubular ceramic heater can be maintained.

Die erfindungsgemäße Flüssigkeitsheizeinrichtung besitzt die durch die Quarzglasröhren isolierten Strömungspfade für die aufzuheizende Flüssigkeit an der Innenseite und der Außenseite der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung. Demgemäß kann eine gleichzeitige Aufheizung unterschiedlicher Arten von aufzuheizenden Flüssigkeiten durch die Flüssigkeitsheizeinrichtung mit einfachem Aufbau durchgeführt werden, indem die unterschiedlichen Flüssigkeitsarten den Strömungspfaden separat zugeführt werden.The liquid heating device according to the invention has the flow paths isolated by the quartz glass tubes for the Liquid to be heated on the inside and the Outside of the tubular ceramic heater. Accordingly, simultaneous heating different types of liquids to be heated due to the liquid heater with a simple structure be done by the different Types of liquid are fed separately to the flow paths become.

Eine Flüssigkeitsheizeinrichtung mit einer großen Heizkapazität kann durch Verbinden mehrerer der vorgenannten Flüssigkeitsheizeinrichtungen in Serie oder parallel erhalten werden.A liquid heater with a large one Heating capacity can be achieved by connecting several of the above Liquid heaters in series or in parallel be preserved.

Bei einem weiteren bevorzugten Ausführungsbeispiel der Erfindung ist der Temperatursensor ein umhülltes Thermoelement, das sich in einer engen Quarzglasröhre erstreckt, die in einer Richtung rechtwinklig zu der Achse der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung so angeordnet ist, daß sie die Wände dar zweiten und der dritten Quarzglasröhre sowie den Strömungspfad, die außerhalb der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung vorgesehen sind, durchdringt, wobei das freie Ende des umhüllten Thermoelements in eine in der Oberfläche der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung ausgebildete Höhlung eingefügt oder eingesetzt ist.In a further preferred embodiment of the Invention, the temperature sensor is an encased Thermocouple located in a narrow quartz glass tube extends in a direction perpendicular to the axis the tubular ceramic heater so arranged is that they are the walls of the second and third Quartz glass tube as well as the flow path that is outside the tubular ceramic heater are provided penetrates, with the free end of the wrapped Thermocouple in one in the surface of the tubular Ceramic heater trained cavity inserted or is used.

Als Temperaturfühler zur Messung der Temperatur der auf ungefähr 600°C aufgeheizten rohrfömigen keramischen Heizeinrichtung ist das umhüllte Thermoelement leicht zu benutzen und zweckmäßig. Wenn ein relativ dünnes umhülltes Thermoelement verwendet wird, kann es in einen schmalen Spalt eingesetzt werden. Allerdings sind die Spalte bzw. Zwischenräume zwischen den Oberflächen der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung und den Oberflächen der ersten und der zweiten Quarzglasröhre klein. Wenn das umhüllte Thermoelement in einen dieser Spalte eingesetzt ist, ist es schwierig, den Spalt gleichmäßig zu halten.As a temperature sensor for measuring the temperature of the about 600 ° C heated tubular ceramic Heating device, the encased thermocouple is easily closed use and functional. If a relatively thin encased Thermocouple is used, it can be narrow Gap are used. However, the column or Gaps between the surfaces of the tubular ceramic heater and the surfaces of the first and the second quartz glass tube small. If that enveloped Thermocouple is inserted into one of these columns, it is difficult to keep the gap even.

Um eine solche Schwierigkeit zu vermeiden, ist beispielsweise eine dünne Röhre aus Quarzglas integral bzw. einstückig mit der zweiten und der dritten Quarzglasröhre ausgebildet, derart, daß die Wände der zweiten und der dritten Quarzglasröhre, die den äußeren Strömungspfad umgeben, und der außerhalb der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung gebildete Strömungspfad aus bzw. in einer Richtung rechtwinklig zur Mittelachse der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung durchdrungen werden, und ein umhülltes Thermoelement ist so eingesetzt, daß es durch die dünne Röhre verläuft, wobei das freie Ende des umhüllten Thermoelements in eine in der Oberfläche der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung, vorzugsweise an einer Position im oder nahe beim zentralen Abschnitt ausgebildete Höhlung eingeführt ist bzw. in diese hineinragt.To avoid such a difficulty is for example a thin tube made of quartz glass integral or in one piece with the second and the third quartz glass tube trained such that the walls of the second and the third quartz glass tube covering the outer flow path surrounded, and the outside of the tubular ceramic Heater formed flow path from or in one Direction perpendicular to the central axis of the tubular ceramic heater are penetrated, and a encased thermocouple is used so that it through the thin tube runs with the free end of the encased Thermocouple in one in the surface of the tubular ceramic heater, preferably at one position cavity formed in or near the central section is introduced or protrudes into it.

Die Verwendung der Quarzglasröhre erleichtert die Feinbearbeitung der Glasröhren. Weiterhin ist es einfach, den Spalt zwischen der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung und den Quarzglasröhren klein und gleichmäßig zu halten, und es ist ferner einfach, die Befestigung und den Austausch des Temperatursensors durch Anordnung des umhüllten Thermoelements in einem derartigen Zustand durchzuführen.The use of the quartz glass tube facilitates the Finishing of the glass tubes. Furthermore, it is easy the gap between the tubular ceramic Heater and the quartz glass tubes small and keep even, and it is also easy to keep the Attachment and replacement of the temperature sensor Arrangement of the encased thermocouple in such a Condition.

Bei einem anderen bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung ist die aufzuheizende Flüssigkeit gereinigtes Wasser. Das gereinigte Wasser (oder hochreines bzw. ultrareines Wasser) ist künstlich gereinigtes Wasser oder Wasser, das durch chemische oder physikalische Mittel stark gereinigt ist. Als aktuelle Reinigungsmittel bzw. -methoden existieren Distillation, Ionenaustausch, Adsorption mit Aktivkohle, Filterung mittels einer Membran, usw.In another preferred embodiment of the The present invention is the liquid to be heated purified water. The purified water (or high purity or ultra-pure water) is artificially purified water or water by chemical or physical means is heavily cleaned. As current cleaning agent or methods exist distillation, ion exchange, adsorption with activated carbon, filtering with a membrane, etc.

Im folgenden wird die Erfindung anhand mehrerer Beispiele erläutert, ohne aber auf diese Beispiele beschränkt zu sein.In the following the invention is illustrated by several examples explained, but without being limited to these examples.

example 1

Fig. 1 zeigt eine Querschnittsansicht einer Flüssigkeitsheizeinrichtung 1, die zur Aufheizung einer einzigen Art von Flüssigkeit eingesetzt wird. Eine röhrenförmige oder rohrförmige keramische Heizeinrichtung 4 wird durch die nachfolgend beschriebenen Verfahrensschritte gebildet. Zu einem Metalloxid, das aus einer Mischung aus Borsilikatglas und "KIBUSHI"-Ton oder -Lehm, der 28 Gew.-% Al₂O₃, 67 Gew.-% SiO₂, 5 Gew.-% Fe₂O₃ und andere Verunreinigungen enthält, besteht, wird Siliciumpulver zum Erzielen einer Mischung derart hinzugefügt, daß der freie Siliciumgehalt 35 Gew.-% beträgt, wonach Methylzellulose als Binder hinzugesetzt wird. Weiterhin wird Wasser zur Mischung hinzugesetzt, um eine durchgeknetete Charge zu bereiten. Dia durchgeknetete Charge wird zu einer Röhrenform extrudiert. Die hierdurch erhaltene Röhre wird getrocknet und geschnitten, wonach eine Sinterung bei 1350°C für vier Stunden in einer reduzierenden Atmosphäre folgt. Da das Metalloxid eine gewisse Menge an Eisen enthalten kann, kann FerroSilicium als Siliciumpulver verwendet werden. Fig. 1 is a cross-sectional view showing a Flüssigkeitsheizeinrichtung 1, which is used for heating a single kind of liquid. A tubular or tubular ceramic heating device 4 is formed by the method steps described below. To a metal oxide consisting of a mixture of borosilicate glass and "KIBUSHI" clay or clay, the 28 wt .-% Al ₂ O ₃ , 67 wt .-% SiO ₂ , 5 wt .-% Fe ₂ O ₃ and others Contains impurities, silicon powder is added to obtain a mixture such that the free silicon content is 35% by weight, after which methyl cellulose is added as a binder. Water is also added to the mixture to prepare a kneaded batch. The kneaded batch is extruded into a tubular shape. The tube thus obtained is dried and cut, followed by sintering at 1350 ° C for four hours in a reducing atmosphere. Since the metal oxide can contain a certain amount of iron, FerroSilicon can be used as silicon powder.

Ein innerhalb der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung gebildeter Strömungspfad 2 ist durch eine erste Quarzglasröhre 5 umgeben, während ein außerhalb der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung befindlicher Strömungspfad 3 zwischen einer zweiten Quarzglasröhre 6 und einer dritten Quarzglasröhre 7 gebildet ist.A flow path 2 formed within the tubular ceramic heating device is surrounded by a first quartz glass tube 5 , while a flow path 3 located outside the tubular ceramic heating device is formed between a second quartz glass tube 6 and a third quartz glass tube 7 .

Da die Flüssigkeitsheizeinrichtung so aufgebaut ist, daß von der erhitzten rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung ausgehende Infrarotstrahlen durch die Wände dar Quarzglasröhren hindurchdringen und die in den Strömungspfaden 2, 3 fließende, aufzuheizende Flüssigkeit erreichen, kann eine verhältnismäßig gute Wärmeübertragung erreicht werden, auch wenn die rohrförmige keramische Heizeinrichtung sich nicht in Berührung mit den Quarzglasröhren befindet, vorausgesetzt, daß die aufzuheizende Flüssigkeit die Fähigkeit zur Absorbierung von Infrarotstrahlen besitzt. Since the liquid heating device is constructed in such a way that infrared rays emanating from the heated tubular ceramic heating device penetrate through the walls of the quartz glass tubes and reach the liquid to be heated flowing in the flow paths 2 , 3 , a relatively good heat transfer can be achieved even if the tubular ceramic heating device is not in contact with the quartz glass tubes, provided that the liquid to be heated has the ability to absorb infrared rays.

Ein dünner Quarzglasstab 13 ist spiralförmig um den Umfang der gerade außerhalb bzw. direkt an der Außenseite dar rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung angeordneten zweiten Quarzglasröhre 6 gewickelt, so daß die aufzuheizende Flüssigkeit spiralförmig im Strömungspfad 3 geführt wird. Darüberhinaus sind der innenseitig gebildete Strömungspfad 2 und der außenseitige Strömungspfad miteinander mittels einer Verbindungsröhre 14 verbunden.A thin quartz glass rod 13 is wound spirally around the circumference of the second quartz glass tube 6 arranged just outside or directly on the outside of the tubular ceramic heating device, so that the liquid to be heated is guided spirally in the flow path 3 . In addition, the flow path 2 formed on the inside and the flow path on the outside are connected to one another by means of a connecting tube 14 .

Die Flüssigkeitsheizeinrichtung wird vorzugsweise durch Kombinieren der Quarzglasröhren im ersten Schritt und anschließendes Einführen der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung zusammengebaut, wobei die Teile separat vorbereitet wurden. Es ist jedoch auch möglich, im ersten Schritt die Quarzglasröhren in das Innere und das Äußere der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung einzuführen und danach die Quarzglasröhren mittels einer Verbindungsröhre zu verbinden.The liquid heater is preferably by Combine the quartz glass tubes in the first step and then inserting the tubular ceramic Heater assembled, with the parts separately were prepared. However, it is also possible in the first Step the quartz glass tubes into the inside and the outside of the Introduce tubular ceramic heater and then close the quartz glass tubes using a connecting tube connect.

Die Flüssigkeitsheizeinrichtung mit dem vorstehend angegebenen Aufbau wurde als Beispiel zur Aufheizung von gereinigtem Wasser verwendet, wobei eine rohrförmige keramische Heizeinrichtung, die einen Außendurchmesser von 20 mm, einen Innendurchmesser von 14 mm, eine Länge von 300 mm und eine Heizleistung von. 10 kW bei Anlagen einer Spannung von 200 V besaß, eingesetzt wurde. Wenn gereinigtes Wasser mit einer Rate von 10 l/min über einen Einlaßanschluß bzw. eine Einlaßöffnung 9 in den außenseitigen Strömungspfad 3 und anschließend in den innenseitigen Strömungspfad 2 eingeführt würde, wurde das Wasser mit einer Temperatur von 30°C auf eine Temperatur von 44,1°C aufgeheizt. Die effektive thermische Effizienz bzw. der effektive thermische Wirkungsgrad betrug mehr als 98%. In diesem Fall konnte keine Verunreinigung bzw. Kontamination des gereinigten Wassers durch das die Strömungspfade bildende Material erfaßt werden. The liquid heater with the above structure was used as an example for heating purified water, with a tubular ceramic heater having an outer diameter of 20 mm, an inner diameter of 14 mm, a length of 300 mm and a heating power of. 10 kW in systems with a voltage of 200 V, was used. When purified water / would at a rate of 10 l min over an inlet port and an inlet port 9 in the outer side flow path 3, and then introduced into the inside flow path 2, the water with a temperature of 30 ° C to a temperature of 44 was 1 ° C heated. The effective thermal efficiency or the effective thermal efficiency was more than 98%. In this case, no contamination or contamination of the purified water by the material forming the flow paths could be detected.

Example 2

In Fig. 2 ist eine Querschnittsdarstellung eines Ausführungsbeispiels der erfindungsgemäßen Flüssigkeitsheizeinrichtung gezeigt, die zum Aufheizen von hoch- bzw. höchstgereinigtem Wasser eingesetzt wurde, das zum Waschen von Zwischenprodukten bei Herstellungsprozessen für elektronikbezogene Artikel wie etwa Halbleitergeräte bzw. -bauelemente verwendet wird. FIG. 2 shows a cross-sectional illustration of an exemplary embodiment of the liquid heating device according to the invention, which was used to heat highly or extremely purified water which is used for washing intermediate products in manufacturing processes for electronics-related articles such as semiconductor devices or components.

Die rohrförmige keramische Heizeinrichtung 1 besteht aus demselben Material wie diejenige beim Beispiel 1, während die innerhalb und außerhalb der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung gebildeten Strömungspfade 2, 3 für die aufzuheizende Flüssigkeit vollständig durch sehr reines Quarzglas umgeben sind, das schädliche bzw. störende Verunreinigungen lediglich in einem Pegel bzw. einer Größe von 1 ppm enthält. Die Dicke der Wand jeder Quarzglasröhre liegt im Bereich von 1,5 mm bis 2 mm. Der Unterschied gegenüber dem Beispiel 1 besteht darin, daß der Durchmesser der ersten, innerhalb der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung 4 angeordneten Quarzglasröhre 5 größer ausgelegt ist, so daß die Wärmeübertragungsoberfläche um einen Betrag vergrößert ist, der dem größeren Durchmesser entspricht. Wenn die aufzuheizende Flüssigkeit in den kreisförmigen Querschnitt besitzenden Strömungspfad der ersten Quarzglasröhre mit größerem Durchmesser eingeführt bzw. darin strömt, wird allerdings die Fließgeschwindigkeit der Flüssigkeit niedrig, wodurch die Wärmeübertragung zwischen der aufzuheizenden Flüssigkeit und dar ersten Quarzglasröhre 5 gering wird und es schwierig ist, die Wärme auf die aufzuheizende Flüssigkeit zu übertragen. Um den vorstehend angegebenen Nachteil zu beseitigen, ist ein Kernrohr bzw. eine zentrale Röhre 16, das bzw. die aus einer hohlen Quarzglasröhre mit einem Endbereich, um den herum ein Flügelrad 17 befestigt ist, besteht, im Inneren der ersten Quarzglasröhre 5 eingesetzt, so daß die Querschnittsfläche des Strömungspfads 2 verkleinert ist, und sich jedes freie Ende der Flügelradblätter bzw. -schaufeln in Berührung mit der Innenseite der ersten Quarzglasröhre 5 befindet. Somit stützt das Flügelrad 17 das Kernrohr 16 ab, so daß die Dicke des Strömungspfads 2 mit ringförmiger Querschnittsfläche nicht aufgrund einer Ablenkung bzw. eines Versatzes des Kernrohrs 16 ungleichmäßig wird, oder das Kernrohr 16 durch die Druckkraft der Strömung der aufzuheizenden Flüssigkeit nicht bewegt wird.The tubular ceramic heating device 1 consists of the same material as that in Example 1, while the flow paths 2 , 3 formed inside and outside the tubular ceramic heating device are completely surrounded by very pure quartz glass for the liquid to be heated, the harmful or disruptive impurities only in one Contains level or a size of 1 ppm. The thickness of the wall of each quartz glass tube is in the range of 1.5 mm to 2 mm. The difference compared to example 1 is that the diameter of the first quartz glass tube 5 arranged within the tubular ceramic heating device 4 is made larger, so that the heat transfer surface is increased by an amount which corresponds to the larger diameter. However, when the liquid to be heated is introduced into the circular cross-sectional flow path of the larger diameter first quartz glass tube, the flow rate of the liquid becomes slow, whereby the heat transfer between the liquid to be heated and the first quartz glass tube 5 becomes low and it is difficult to do so Transfer heat to the liquid to be heated. In order to eliminate the above-mentioned disadvantage, a core tube or a central tube 16 , which consists of a hollow quartz glass tube with an end region around which an impeller 17 is fastened, is inserted inside the first quartz glass tube 5 , so that the cross-sectional area of the flow path 2 is reduced, and each free end of the impeller blades or blades is in contact with the inside of the first quartz glass tube 5 . Thus, the impeller 17 supports the core tube 16 , so that the thickness of the flow path 2 with an annular cross-sectional area does not become uneven due to a deflection or an offset of the core tube 16 , or the core tube 16 is not moved by the pressure force of the flow of the liquid to be heated.

Bei diesem Ausführungsbeispiel beträgt die Anzahl der Blätter bzw. Schaufeln des Laufrads drei und es ist jedes Blatt bzw. jede Schaufel spiralförmig geneigt. Dementsprechend wird der im Strömungspfad fließenden Flüssigkeit eine Rotationskraft erteilt und es kann die Reynolds-Zahl durch die Beschleunigung der Fließgeschwindigkeit der Flüssigkeit leicht auf über 3000 erhöht werden, wodurch die Wärmeübertragung weiter erhöht wird. In Fig. 2 ist die End- bzw. Stirnfläche des Kernrohrs 16 auf der Seite des Flügelrads 17 so geformt, daß sie eine halbkugelige Gestalt besitzt, um die Strömung der aufzuheizenden Flüssigkeit zu vergleichmäßigen und den Strömungswiderstand zu reduzieren.In this embodiment, the number of blades of the impeller is three and each blade or blade is helically inclined. Accordingly, the liquid flowing in the flow path is given a rotational force, and the Reynolds number can be easily increased to over 3000 by accelerating the flow speed of the liquid, further increasing heat transfer. In Fig. 2, the end face of the core tube 16 on the side of the impeller 17 is shaped to have a hemispherical shape in order to even out the flow of the liquid to be heated and to reduce the flow resistance.

Folglich ist eine Flüssigkeitsheizeinrichtung mit großer Heizleistung erzielbar, bei der der Innendurchmesser des Strömungspfads 3 durch Vergrößerung des Außendurchmessers des Strömungspfads 2 groß ausgelegt ist, wodurch sich der Außendurchmesser der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung und somit auch der Wärmeübertragungs- Oberflächenbereich vergrößert. As a result, a liquid heater having a large heating capacity can be obtained in which the inside diameter of the flow path 3 is made large by increasing the outside diameter of the flow path 2 , whereby the outside diameter of the tubular ceramic heater and thus also the heat transfer surface area is increased.

Am Außenumfang an Positionen nahe der beiden Enden der ersten Quarzglasröhre 5 sind Abstandshalter 21 befestigt, die durch Wickeln von Bändern, die eine Breite von 10 mm haben und durch Verweben von Quarzglas-Monafilamenten vorbereitet bzw. hergestellt sind, gebildet sind. Die rohrförmige keramische Heizeinrichtung 4 ist an die Außenseite der Abstandshalter 21 angepaßt bzw. mit diesen zusammengefügt. Der Abstand zwischen der Innenoberfläche der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung 4 und der Außenoberfläche der ersten Quarzglasröhre 5 ist durch die Abstandshalter 21 gleichmäßig gehalten und besitzt eine Dimension bzw. Abmessung von ungefähr 0,5 mm.Spacers 21 are attached to the outer periphery at positions near the both ends of the first quartz glass tube 5 , which are formed by winding ribbons that are 10 mm wide and prepared by weaving quartz glass monafilaments. The tubular ceramic heating device 4 is adapted to the outside of the spacers 21 or joined together with them. The distance between the inner surface of the tubular ceramic heating device 4 and the outer surface of the first quartz glass tube 5 is kept uniform by the spacers 21 and has a dimension or dimension of approximately 0.5 mm.

Die Abmessungen der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung betragen 40 mm Außendurchmesser, 32 mm Innendurchmesser und 600 mm Länge. Ein Elektrodenbereich mit einer Länge von 50 mm, der im wesentlichen keine Wärme erzeugt, ist an jedem Ende der Heizeinrichtung derart ausgebildet, daß er von jeder End- bzw. Stirnkante des Strömungspfads 3 5 mm nach innen reicht. Zuführungsdrähte 12 sind zwischen die Elektrodenbereiche und eine nicht gezeigte Spannungs- oder Stromquelle geschaltet.The dimensions of the tubular ceramic heating device are 40 mm outside diameter, 32 mm inside diameter and 600 mm length. An electrode region with a length of 50 mm, which generates essentially no heat, is formed at each end of the heating device in such a way that it extends 3 5 mm inwards from each end or end edge of the flow path. Lead wires 12 are connected between the electrode areas and a voltage or current source, not shown.

Wie in der vergrößerten Darstellung gemäß Fig. 3 gezeigt, ist am zentralen Bereich der zweiten Quarzglasröhre 6 und der dritten Quarzglasröhre 7 eine dünne Quarzglasröhre 22 derart angeordnet, daß sie den außerhalb der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung 4 gebildeten Strömungspfad 3 durchsetzt. Ein Temperatursensor bzw. -fühler 23, der aus einem umhüllten Thermoelement besteht, ist in das Innere der dünnen Röhre 22 eingesetzt, wobei das freie Ende des Temperatursensors 23 in Form eines umhüllten Thermoelemente in einer Ausnehmung bzw. Höhlung oder Hohlraum 24 ruht, die bzw. der in der Oberfläche der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung 4 ausgebildet ist. As shown in the enlarged view of FIG. 3, the central region of the second quartz glass tube 6 and the third quartz glass tube 7, a thin quartz glass tube 22 is disposed such that it passes through the flow path 3 formed outside the tubular ceramic heater 4. A temperature sensor or sensor 23 , which consists of an encased thermocouple, is inserted into the interior of the thin tube 22 , the free end of the temperature sensor 23 in the form of an encased thermocouple resting in a recess or cavity or cavity 24 , which or which is formed in the surface of the tubular ceramic heating device 4 .

Die Flüssigkeitsheizeinrichtung mit dem vorstehend angegebenen Aufbau ermöglicht eine direkte Erfassung der Temperatur der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung 4 über den Temperaturfühler 23 und steuert die Oberflächentemperatur der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung zuverlässig derart, daß die Temperatur, bei der eine Entglasung des Quarzglases auftritt, nicht überschritten wird.The liquid heater with the above construction enables direct detection of the temperature of the tubular ceramic heater 4 via the temperature sensor 23 and controls the surface temperature of the tubular ceramic heater reliably such that the temperature at which devitrification of the quartz glass occurs is not exceeded.

Die Aufheizung des gereinigten Wassers wurde unter Verwendung einer Flüssigkeitsheizeinrichtung versucht bzw. getestet, bei der eine rohrförmige keramische Heizeinrichtung 4 mit einer Heizleistung von 6 kW bei Anlegen einer Spannung von 200 V eingesetzt wurde. Wenn gereinigtes Wasser mit einer Temperatur von 20°C über den Anschluß bzw. die Öffnung 11 mit einer Durchfluß- oder Strömungsrate von 10 l/min eingeführt wurde, betrug die Temperatur des gereinigten Wassers am Auslaß 9 28,5°C. Der effektive thermische Wirkungsgrad in diesem Fall lag bei über 98%. Die Temperatur der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung 4 im Betrieb lag bei 460°C und die Temperatur des Elektrodenbereichs der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung bei ungefähr 80°C.The heating of the purified water was attempted or tested using a liquid heating device in which a tubular ceramic heating device 4 with a heating power of 6 kW was used when a voltage of 200 V was applied. When purified water at a temperature of 20 ° C was introduced through the port 11 at a flow rate of 10 L / min, the temperature of the purified water at the outlet 9 was 28.5 ° C. The effective thermal efficiency in this case was over 98%. The temperature of the tubular ceramic heater 4 during operation was 460 ° C. and the temperature of the electrode area of the tubular ceramic heater 4 was approximately 80 ° C.

Eine Untersuchung der Kontamination des gereinigten, am Auslaß 9 abgegebenen Wassers ergab, daß keine Verunreinigungen eingetragen wurden.An examination of the contamination of the purified water discharged at outlet 9 showed that no contaminants were introduced.

Example 3

In Fig. 4 ist ein Diagramm gezeigt, das ein Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Flüssigkeitsheizeinrichtung veranschaulicht, das zur Reservierung oder Aufrechterhaltung der Temperatur einer Entwicklerflüssigkeit und einer Fixierflüssigkeit für fotografische Zwecke eingesetzt wurde. FIG. 4 shows a diagram which illustrates an exemplary embodiment of the liquid heating device according to the invention, which was used for reserving or maintaining the temperature of a developer liquid and a fixing liquid for photographic purposes.

In Fig. 4 ist mit dem Bezugszeichen 1 ein Hauptteil der Flüssigkeitsheizeinrichtung bezeichnet, während das Bezugszeichen 31 Pumpen, das Bezugszeichen 33 einen Entwicklerflüssigkeitsbehälter, das Bezugszeichen 34 einen Fixierflüssigkeitsbehälter und das Bezugszeichen 35 Durchflußratensteuerungen zur Steuerung der Drehzahl der Pumpen bezeichnet.In Fig. 4, reference numeral 1 denotes a main part of the liquid heater, while reference numeral 31 denotes pumps, 33 a developer liquid container, 34 a fixing liquid container, and 35 flow rate controls for controlling the speed of the pumps.

Bei diesem Ausführungsbeispiel werden die Entwicklerflüssigkeit und die Fixierflüssigkeit gleichzeitig in der einzigen Flüssigkeitsheizeinrichtung mit einfachem Aufbau ohne gegenseitige Vermischung aufgeheizt. Die Temperatur der Flüssigkeiten wird mittels Temperatursensoren erfaßt, die an dem Entwicklerflüssigkeitsbehälter 33 und dem Fixierflüssigkeitsbehälter 34 angebracht sind. Jade Drehzahl der Pumpe oder Pumpen 31 wird durch jede bzw. eine jeweilige Durchflußratensteuerung 35 geregelt und die der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung zuzuführende elektrische Leistung über ein nicht gezeigtes Leistungesteuersystem eingestellt, wodurch die Temperaturen der Entwicklerflüssigkeit und der Fixierflüssigkeit auf vorbestimmte Temperaturwerte eingestellt bzw. geregelt werden.In this embodiment, the developer liquid and the fixing liquid are simultaneously heated in the single liquid heater with a simple structure and without mutual mixing. The temperature of the liquids is detected by means of temperature sensors which are attached to the developer liquid container 33 and the fixing liquid container 34 . Jade speed of the pump or pumps 31 is regulated by each or a respective flow rate control 35 and the electrical power to be supplied to the tubular ceramic heating device is set via a power control system, not shown, whereby the temperatures of the developer liquid and the fixing liquid are set or regulated to predetermined temperature values.

Die Abmessungen der verwendeten rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung betragen 15 mm Außendurchmesser, 9 mm Innendurchmesser und 10 mm Länge und diese wird in folgender Weise hergestellt. Siliciumpulver wird zu einer Metalloxidpulver-Mischung aus Alkali-Feldspat (alkali feldsper) und Lehm bzw. Ton mit 62 Gewichtsprozent Silica, 35 Gewichtsprozent Aluminiumoxid und 3 Gewichtsprozent anderer Oxide derart hinzugesetzt, daß der Anteil an freiem Silicium 20 Gewichtsprozent beträgt. Weiterhin wurde Methylzellulose als Bindemittel und Wasser hinzugefügt und die Mischung geknetet. Die geknetete Masse wurde extrudiert und getrocknet. Danach wurde das getrocknete Produkt für 4 Stunden bei 1350°C gesintert.The dimensions of the tubular ceramic used Heating device are 15 mm outside diameter, 9 mm Inside diameter and 10 mm length and this is in the following Manufactured way. Silicon powder becomes one Metal oxide powder mixture of alkali feldspar (alkali feldsper) and clay or clay with 62 weight percent silica, 35 weight percent alumina and 3 weight percent other oxides added in such a way that the proportion of free Silicon is 20 percent by weight. Furthermore was Added methyl cellulose as a binder and water and knead the mixture. The kneaded mass was extruded and dried. The dried product was then dried for 4 Sintered at 1350 ° C for hours.

Wenn die rohrförmige keramische Heizeinrichtung, die bei Verbindung mit einer 100 V Wechselspannungsquelle eine Heizleistung von 300 W besaß, bei der Flüssigkeitsheizeinrichtung eingesetzt wurde, konnte die Einrichtung ungefähr 1 l Entwicklerflüssigkeit und ungefähr 1 l Fixierflüssigkeit, die in ihren Behältern bei einer beliebigen Raumtemperatur gespeichert werden, bei jeweils 35°C funktionell bzw. funktionszuverlässig halten. Diese Flüssigkeitsheizeinrichtung kann für eine Entwicklerflüssigkeit und eine Fixierflüssigkeit für einen Lack (resist), wie er bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen eingesetzt wird, verwendet werden.If the tubular ceramic heater, which at Connection to a 100 V AC voltage source Had a heating power of 300 W at the Liquid heater was used, the Set up about 1 liter of developer fluid and about 1 l of fixing liquid, which is in its containers at a any room temperature can be saved at each Keep 35 ° C functional or reliable. This Liquid heater can for one Developer liquid and a fixing liquid for one Lacquer (resist) as used in the manufacture of Semiconductor components are used.

Example 4

Fig. 5 zeigt ein Diagramm, in dem ein Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Flüssigkeitsheizeinrichtung veranschaulicht ist, das zum Aufheizen von gereinigtem Wasser für das Waschen von Zwischenprodukten von Halbleiterbauelementen eingesetzt wird. FIG. 5 shows a diagram illustrating an exemplary embodiment of the liquid heating device according to the invention which is used for heating purified water for washing intermediate products of semiconductor components.

In Fig. 5 bezeichnen die Bezugszeichen 1 Hauptteile der Flüssigkeitsheizeinrichtungen, das Bezugszeichen 15 eine Spannungs- oder Stromquelle, die Bezugszeichen 23, 28, 29 Temperaturfühler, das Bezugszeichen 30 einen Steuercomputer, das Bezugszeichen 31 eine Pumpe, das Bezugszeichen 35 eine Durchflußratensteuerung, das Bezugszeichen 36 eine Leistungssteuerung, das Bezugszeichen 37 einen Tank für gereinigtes Wasser, das Bezugszeichen 38 einen Durchflußratenfühler bzw. -sensor, das Bezugszeichen 39 eine Auslaßöffnung bzw. einen Auslaßanschluß und das Bezugszeichen 40 eine Röhre.In Fig. 5, reference numeral 1 designates main parts of the liquid heaters, reference numeral 15 a voltage or current source, reference numerals 23 , 28 , 29 temperature sensors, reference numeral 30 a control computer, reference numeral 31 a pump, reference numeral 35 a flow rate control, the reference symbol 36 is a power controller, 37 is a purified water tank, 38 is a flow rate sensor, 39 is an outlet port, and 40 is a tube.

Bei diesem Ausführungsbeispiel wird das bei Raumtemperatur in dem Tank 37 für gereinigtes Wasser gespeicherte gereinigte Wasser über den Durchflußratensensor 38 mittels der Pumpe 31 zu zwei Flüssigkeitsheizeinrichtungen 1 zugeführt, die in Reihe geschaltet sind. Die Temperatur des gereinigten Wassers wird in den Einrichtungen auf eine vorbestimmte Temperatur erhöht. Danach wird das aufgeheizte Wasser über den Auslaßanschluß 39 abgegeben. In diesem speziellen Fall wird die Durchflußrate des in den Strömungspfaden fließenden gereinigten Wassers über den Durchflußratensensor 38 erfaßt, so daß die Durchflußrate auf einen gewünschten Pegel bzw. Wert gesteuert wird.In this embodiment, the purified water stored at room temperature in the purified water tank 37 is supplied through the flow rate sensor 38 by the pump 31 to two liquid heaters 1 which are connected in series. The temperature of the purified water is raised to a predetermined temperature in the devices. Thereafter, the heated water is discharged through the outlet port 39 . In this particular case, the flow rate of the purified water flowing in the flow paths is detected by the flow rate sensor 38 so that the flow rate is controlled to a desired level.

Die Temperatur des gereinigten Wassers in dem Tank für das gereinigte Wasser wird durch den Temperatursensor 28 erfaßt, dessen Temperatursignal als Daten im Speicher des Steuercomputers 30 gespeichert wird.The temperature of the purified water in the purified water tank is detected by the temperature sensor 28 , the temperature signal of which is stored as data in the memory of the control computer 30 .

Wenn das gereinigte Wasser zu fließen beginnt, wird ein Durchflußratensignal eines an dem Zufuhrrohr der. Zufuhrleitung 11 angebrachten Durchflußsensors 38 in den Steuercomputer 30 eingegeben; elektrische Spannung bzw. elektrischer Strom wird an die rohrförmigen keramischen Heizeinrichtungen auf der Basis eines Signals vom Steuercomputer 30 angelegt; die Temperatur der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtungen der Flüssigkeitsheizeinrichtungen werden über die Temperatursensoren 23 erfaßt, und die von den Temperatursensoren 23 abgegebenen Temperatursignale werden gleichfalls als Daten im Speicher des Steuercomputers gespeichert. Weiterhin ist ein Temperatursensor 28 an dem Rohr bzw. der Leitung 40 zwischen den Flüssigkeitsheizeinrichtungen angebracht und ein Temperatursensor 29 am Auslaßanschluß 39 für den Auslaß des aufgeheizten Wassers angeordnet, wobei die Temperatursignale dem Steuercomputer zugeführt werden und im Speicher als Daten gespeichert werden. Diese Daten können bei Bedarf auf einer Sichtanzeige des Steuercomputers angezeigt werden.When the purified water begins to flow, a flow rate signal becomes one on the supply pipe. Feed line 11 attached flow sensor 38 entered into control computer 30 ; electrical voltage is applied to the tubular ceramic heaters based on a signal from the control computer 30 ; the temperature of the tubular ceramic heaters of the liquid heaters are detected by the temperature sensors 23 , and the temperature signals emitted by the temperature sensors 23 are also stored as data in the memory of the control computer. Furthermore, a temperature sensor 28 is attached to the pipe or line 40 between the liquid heating devices and a temperature sensor 29 is arranged on the outlet connection 39 for the outlet of the heated water, the temperature signals being fed to the control computer and stored in the memory as data. If necessary, this data can be displayed on a visual display of the control computer.

Der Steuercomputer bestimmt aufrechtzuerhaltende Temperaturen der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtungen der Flüssigkeitsheizeinrichtungen auf der Grundlage der gesammelten Daten in Übereinstimmung mit einem vorab im Speicher gespeicherten Steuerprogramm, wodurch die von der Leistungssteuerung 36 zuzuführenden elektrischen Spannungen bzw. Ströme derart gesteuert werden, daß die rohrförmigen keramischen Heizeinrichtungen die vorbestimmten Temperaturen beibehalten.The control computer determines maintainable temperatures of the tubular ceramic heaters of the liquid heaters based on the collected data in accordance with a control program previously stored in memory, thereby controlling the electrical voltages or currents to be supplied by the power controller 36 such that the tubular ceramic heaters are predetermined Maintain temperatures.

Folglich kann durch Steuerung der Temperaturen der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtungen der Flüssigkeitsheizeinrichtungen die Temperatur des am Auslaßanschluß 39 abgegebenen gereinigten Wassers rasch auf eine gewünschte Temperatur gesteuert werden.Thus, by controlling the temperatures of the tubular ceramic heaters of the liquid heaters, the temperature of the purified water discharged from the outlet port 39 can be quickly controlled to a desired temperature.

Bei dem gezeigten Ausführungsbeispiel sind zwei Flüssigkeitsheizeinrichtungen in Reihe verbunden. Jedoch kann auch eine größere Anzahl von Flüssigkeitsheizeinrichtungen in Reihe geschaltet sein, so daß die Heizleistung erhöht ist.In the embodiment shown there are two Liquid heaters connected in series. however can also be a larger number of Liquid heating devices can be connected in series, so that the heating power is increased.

Eine Flüssigkeitsheizeinrichtung mit einer großen Heizkapazität wurde durch serielle Verbindung von acht Flüssigkeitsheizeinrichtungen mit denselben Spezifikationen bzw. Daten wie diejenige gemäß Beispiel 2 aufgebaut und gereinigtes Wasser mit einer Temperatur von 20°C in die verbundene Flüssigkeitsheizeinrichtung mit einer Strömungsrate von 10 l/min eingeführt. Als Ergebnis konnte die Temperatur des am Auslaßanschluß 39 abgegebenen gereinigten Wassers mit einer Toleranz von ± 0,5°C bei 80°C gehalten werden. In diesem Fall wurde ein Steuerprogramm zum derartigen Steuern der Aufheizung des gereinigten Wassers erstellt, daß die Temperatur jeder rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung bei ungefähr 460°C gehalten wurde, so daß keine großen Unterschiede zwischen den keramischen Heizeinrichtung der acht Flüssigkeitsheizeinrichtungen auftraten, wobei die Feineinstellung der Temperatur des gereinigten Wassers bei der in der letzten Stufe angeordneten Flüssigkeitsheizeinrichtung erfolgte. Bei dem vorstehend angegebenen Ausführungsbeispiel wurde eine durchschnittliche elektrische Leistung von 43 kW benötigt und der effektive thermische Wirkungsgrad betrug 97,3%. Eine Überprüfung der Verunreinigung im aufgeheizten, an dem Auslaßanschluß 39 abgegebenen gereinigten Wasser wurde durchgeführt und ergab keine Einführung von Kontaminierungen.A liquid heater with a large heating capacity was constructed by serially connecting eight liquid heaters with the same specifications or data as that of Example 2, and purified water at a temperature of 20 ° C was introduced into the connected liquid heater at a flow rate of 10 l / min. As a result, the temperature of the purified water discharged from the outlet port 39 could be maintained at 80 ° C with a tolerance of ± 0.5 ° C. In this case, a control program for controlling the heating of the purified water was prepared so that the temperature of each tubular ceramic heater was kept at about 460 ° C so that there was no great difference between the ceramic heater of the eight liquid heaters, with the fine adjustment of the temperature of the purified water in the liquid heater arranged in the last stage. In the above embodiment, an average electrical power of 43 kW was required and the effective thermal efficiency was 97.3%. An examination of the contamination in the heated, cleaned water discharged at the outlet connection 39 was carried out and showed no introduction of contamination.

Comparative example

In Fig. 6 ist eine Querschnittsansicht eines Vergleichsbeispiels einer Flüssigkeitsheizeinrichtung 1 gezeigt, die eine rohrförmige keramische Heizeinrichtung 4 umfaßt, die aus einem Material hergestellt ist, das 20 Gewichtsprozent Silicium und 80 Gewichtsprozent eines Metalloxids mit Silica und Aluminiumoxid als Hauptkomponenten enthält. Die Flüssigkeitsheizeinrichtung weist weiterhin eine Röhre 25 auf, die aus Polytetrafluorethylen, die koaxial mit und etwas beabstandet von der Röhre 26 angeordnet ist, sowie Leitungsdrähte 12, die mit Elektrodenbereichen in der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung verbunden sind. Hierbei bilden die Röhren 26, 27 einen Strömungspfad 3 außerhalb der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung 4. In Fig. 6 bezeichnen die Bezugszeichen 10 und 11 Einlaß- bzw. Auslaßanschlüsse für den Strömungspfad 2 und die Bezugszeichen 8 und 9 Einlaß- bzw. Auslaßanschlüsse für den Strömungspfad 3.In Fig. 6, there is shown a cross sectional view of a comparative example of a liquid heater 1 comprising a tubular ceramic heater 4 made of a material containing 20% by weight of silicon and 80% by weight of a metal oxide with silica and alumina as main components. The liquid heater further includes a tube 25 made of polytetrafluoroethylene, which is coaxial with and somewhat spaced from the tube 26 , and lead wires 12 which are connected to electrode areas in the tubular ceramic heater. Here, the tubes 26 , 27 form a flow path 3 outside the tubular ceramic heating device 4 . In Fig. 6, reference numerals 10 and 11 inlet and outlet ports for the flow path 2, and reference numerals 8 and 9, inlet and outlet ports for the flow path 3..

Die Flüssigkeitsheizeinrichtung mit dem vorstehend angegebenen Aufbau ist zur Aufheizung unterschiedlicher Arten von Flüssigkeit einschließlich Flußsäure verwendbar, jedoch war es schwierig, eine Flüssigkeitsheizeinrichtung mit großer Heizleitung herzustellen, da die Temperatur der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung 4 nicht über 300°C angehoben werden konnte. Weiterhin war die Flüssigkeitsheizeinrichtung mit dem vorstehend angegebenen Aufbau nicht geeignet zur Aufheizung von gereinigtem Wasser, insbesondere für dessen Aufheizung auf erhöhte Temperatur, da eine kleine Menge an organischen Materialien und kleinen Partikeln in das gereinigte Wasser eingetragen wurde.The liquid heater with the above construction is usable for heating various kinds of liquid including hydrofluoric acid, but it was difficult to manufacture a liquid heater with a large heating pipe because the temperature of the tubular ceramic heater 4 could not be raised above 300 ° C. Furthermore, the liquid heating device with the structure specified above was not suitable for heating purified water, in particular for heating it to an elevated temperature, since a small amount of organic materials and small particles was introduced into the purified water.

In Übereinstimmung mit vorliegender Erfindung kann eine Flüssigkeitsheizeinrichtung bereitgestellt werden, die frei von Kontamination der aufzuheizenden Flüssigkeit ist, kompakte Gestalt und hohe Heizleistung besitzt, verhältnismäßig einfachen Aufbau unter Bereitstellung hoher thermischer Wirksamkeit bzw. hohen thermischen Wirkungsgrad hat, zur gleichzeitigen Aufheizung mehrerer Arten von Flüssigkeiten für spezifische Zwecke geeignet ist und im wesentlichen keine Wartezeit erfordert. Diese Effekte werden erzielt, da Quarzglasröhre als Wandmaterial für die Strömungspfade verwendet wird und die Wärme von der rohrförmigen keramischen Heizeinrichtung, die eine große Menge an Infrarotstrahlen abstrahlt, zur aufzuheizenden Flüssigkeit übertragen wird. Hierbei findet eine Wärmeübertragung statt, die effektiv sowohl die Wärmeleitung als auch die Strahlungswärmeübertragung heranzieht. Die Flüssigkeitsheizeinrichtung ist zur kontinuierlichen Aufheizung gereinigten Wassers geeignet, wie es zur Herstellung von elektronikbezogenen Produkten eingesetzt wird, und ist in breitem Umfang in der Industrie einsetzbar.In accordance with the present invention, one Liquid heaters are provided that are free contamination of the liquid to be heated, compact shape and high heating capacity, relatively simple structure while providing high thermal effectiveness or high thermal efficiency has, for the simultaneous heating of several types of Liquids are suitable for specific purposes and in essentially no waiting time required. These effects will be achieved because quartz glass tube as wall material for the Flow paths are used and the heat from the tubular ceramic heater that is a large Amount of infrared rays emitted to be heated Liquid is transferred. Here one finds Heat transfer takes place, which effectively both conducts heat as well as the radiant heat transfer. The Liquid heater is for continuous Suitable for heating purified water Manufacture of electronics related products used is, and is widely used in industry.

Claims

1. Liquid heating device with a ceramic heating device ( 4 ) working according to the principle of electrical resistance heating with a tubular shape, a first and a second flow path ( 2 , 3 ) for guiding liquid to be heated, which is close to the inside or outside of the tubular ceramic heating device ( 4 ) and of which the first flow path for the liquid is surrounded by a first quartz glass tube ( 5 ), which is arranged coaxially within the tubular ceramic heating device ( 4 ), and the second flow path ( 3 ) for the liquid between a second and a third quartz glass tube ( 6 , 7 ) coaxially arranged outside the tubular ceramic heater ( 4 ).

2. Liquid heating device according to claim 1, characterized in that the material of the tubular ceramic heating device ( 4 ) has free silicon and a metal oxide which contains aluminum oxide and silica as main components, the content of free silicon in the material being in a range from 5 to 50 percent by weight.

3. Liquid heating device according to claim 1 or 2, characterized in that a temperature control of the liquid to be heated is carried out by controlling the electrical power by means of a control section which operates in such a way that the temperature of the tubular ceramic heating device ( 4 ) at a desired elevated temperature Liquid corresponding predetermined temperature depending on temperature signals from a first temperature sensor attached to the inlet portion of the liquid and from a second temperature sensor attached to the tubular ceramic heater, and depending on a flow rate signal of a flow or flow sensor arranged on a supply pipe of the liquid.

4. Liquid heating device according to one of claims 1 to 3, characterized in that a hollow core tube ( 16 ) made of quartz glass is inserted into the inside the tubular ceramic heating device ( 4 ) arranged first quartz glass tube ( 5 ), and that an impeller ( 17 ) on Perimeter of the core tube ( 16 ) is fixed at a position near its upstream end of the flow path for the liquid to be heated, with the free ends of the blades of the impeller ( 17 ) in contact with the inner wall surface of the first quartz glass tube ( 5 ) such that the core tube ( 16 ) is arranged coaxially within the first quartz glass tube ( 5 ).

5. Liquid heating device according to one of the preceding claims, characterized in that the distance between the surfaces of the tubular ceramic heating device ( 4 ) and both surfaces of the first and second quartz glass tubes ( 5 , 6 ) which are arranged adjacent to the surface of the tubular ceramic heating device, Is 1.2 mm or less.

6. Liquid heating device according to one of the preceding claims, characterized in that the flow paths ( 2 , 3 ) formed on the inside and the outside of the tubular ceramic heating devices ( 4 ) are connected to one another in series via a connecting pipe or a connecting line ( 14 ).

7. Liquid heating device according to one of the preceding claims, characterized in that spacers ( 21 ) between the tubular ceramic heating device ( 4 ) and the first or the second quartz glass tube ( 5 , 6 ) at positions near the two ends of the tubular ceramic heating device ( 4 ) arranged that the length in the axial direction of the heat generating portion of the tubular ceramic heater ( 4 ) is shorter than the length of the outside flow path for the liquid in the same direction that the heat generating portion of the tubular ceramic heater is completely surrounded by the flow path for the liquid, and that the spacers ( 21 ) are arranged so that they do not overlap with the heat generating portion formed on a central portion of the tubular ceramic heater.

8. Liquid heating device according to one of claims 3 to 7, characterized in that the second temperature sensor is a coated thermocouple which extends in a narrow tube made of quartz glass and the free end of which is formed in a in the outer surface of the tubular ceramic heating device ( 4 ) Cavity ( 24 ) is inserted that the narrow quartz glass tube extends such that it surrounds the second and third quartz glass tubes surrounding the second flow path formed outside the tubular ceramic heater and the second flow path formed between the second and third quartz glass tubes penetrates in a direction perpendicular to the axis of the tubular ceramic heater, and that the narrow tube is integrally connected to the second and third quartz glass tubes.

9. Liquid heater according to one of the preceding claims, characterized in that the liquid to be heated is purified water.