KR100867520B1 - Imaging Lenses and Manufacturing Method Thereof - Google Patents

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Abstract

본 발명은 투명 기판; 상기 투명 기판의 상측에 구비된 상부 렌즈 부재; 및 상기 투명 기판의 아래측에 상기 상부 렌즈 부재에 대응하여 구비된 하부 렌즈 부재를 포함하고, 상기 상부 렌즈 부재 또는 하부 렌즈 부재는 각각의 렌즈 요소를 둘러싸고 상기 렌즈 요소의 높이보다 높은 격벽을 구비하는 것을 특징으로 하는 결상 렌즈 및 그 제조 방법에 관한 것이다. The present invention is a transparent substrate; An upper lens member provided on an upper side of the transparent substrate; And a lower lens member disposed below the transparent substrate corresponding to the upper lens member, wherein the upper lens member or the lower lens member surrounds each lens element and has a partition wall higher than the height of the lens element. It relates to an imaging lens and a method of manufacturing the same.

본 발명은 투명 기판의 한쪽 면 또는 양쪽 면에 렌즈 요소의 높이보다 높고 상부면이 평평한 격벽을 렌즈 요소와 함께 복제 형성함으로써, 투명 기판의 반대면에 추가의 렌즈 요소를 복제할 때 먼저 복제된 렌즈 요소의 변형을 방지하는 격벽을 구비한 결상 렌즈를 제공할 수 있다. According to the present invention, by replicating with the lens element a partition having a height higher than the height of the lens element on one or both sides of the transparent substrate with the lens element, the first replicated lens when replicating additional lens elements on the opposite side of the transparent substrate. An imaging lens having a partition for preventing deformation of the element can be provided.

결상 렌즈, 다이싱(dicing) 공정, 격벽 Imaging lens, dicing process, bulkhead

Description

결상 렌즈 및 그 제조 방법{Imaging-lens and method of manufacturing the same}Imaging Lens and Method for Manufacturing the Same {Imaging-lens and method of manufacturing the same}

도 1a는 종래의 레플리카 렌즈를 구비한 카메라 모듈을 도시한 단면도. 1A is a cross-sectional view of a camera module having a conventional replica lens.

도 1b는 종래의 레플리카 렌즈를 다이싱하는 과정을 설명하기 위한 예시도. 1B is an exemplary view for explaining a process of dicing a conventional replica lens.

도 2a 내지 도 2e는 본 발명의 일실시예에 따라 결상 렌즈를 제조하는 방법에 따른 공정 단면도. 2A to 2E are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing an imaging lens according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 일실시예에 따라 결상 렌즈를 제조하는 방법에 의해 제작된 결상 렌즈의 단면도. 3 is a cross-sectional view of an imaging lens manufactured by a method of manufacturing an imaging lens according to an embodiment of the present invention.

도 4a 내지 도 4e는 본 발명의 다른 실시예에 따른 결상 렌즈의 제조 방법에 따른 공정 단면도. 4A to 4E are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing an imaging lens according to another exemplary embodiment of the present invention.

도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 결상 렌즈의 제조 방법에 의해 제작된 결상 렌즈의 단면도. 5 is a cross-sectional view of an imaging lens manufactured by a method of manufacturing an imaging lens according to another exemplary embodiment of the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명> <Description of the symbols for the main parts of the drawings>

500: 베이스 510: 마스터 몰드 500: base 510: master mold

511: 격벽 600: 폴리머 511: partition 600: polymer

700: 제 1 기판 800: 투명 기판 700: first substrate 800: transparent substrate

810: IR 차단 필터 820: 스탑 810: IR cut filter 820: stop

830: 렌즈용 투명 폴리머 831: 상부 렌즈 부재 830: transparent polymer for lens 831: upper lens member

832: 상부 격벽 833: 렌즈 요소 832: upper partition 833: lens element

841: 하부 렌즈 부재 842: 하부 격벽 841: lower lens member 842: lower partition

850: 다이싱 테이프 850: dicing tape

본 발명은 결상 렌즈 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 특히 다이싱 공정의 문제점을 해소하고 렌즈 요소의 변형을 방지하여 제조된 결상 렌즈 및 그 제조 방법에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION Field of the Invention The present invention relates to an imaging lens and a method of manufacturing the same, and more particularly, to an imaging lens and a method of manufacturing the same, which are manufactured by solving a problem of a dicing process and preventing deformation of a lens element.

최근 사용되고 있는 이미지 센서(image sensor)의 화소(pixel) 크기가 점점 작아지면서 이러한 이미지 센서를 이용하는 광학 장치에 장착되는 광 소자　역시 소형화되고 있으며, 광 소자들의 소형화로 인하여 각각의 광학 장치를 조립하는데 큰 어려움이 있다. 이러한 문제점을 해결하기 위해 대량 생산이 가능하고 웨이퍼 규모(wafer scale)로 제작이 용이한 핫 엠보싱(Hot embossing), UV 엠보싱과 같은 레플리케이션(replication) 방법에 의한 광 소자의 제작이 이루어지고 있다.　As the pixel size of an image sensor that has been recently used becomes smaller and smaller, optical devices mounted on an optical device using such an image sensor are also being miniaturized. There is difficulty. In order to solve this problem, optical devices have been manufactured by replication methods such as hot embossing and UV embossing, which are mass-produceable and easy to manufacture on a wafer scale.

레플리카 방법은 CD나 DVD와 같은 정보 저장 장치 또는 마이크로 렌즈를 제조하기 위해 공지된 기술로서, 보통 유리나 플라스틱을 기판으로 사용하여 기판 상에 여러 가지 형태의 복제층을 형성한다. The replica method is a known technique for manufacturing microlenses or information storage devices such as CDs and DVDs, and usually uses glass or plastic as a substrate to form various types of replica layers on the substrate.

종래에는 도 1a에 도시된 바와 같이, 이미지 센서(103), 상기 이미지 센 서(103)에 부착된 제 1 스페이서(105), 상기 스페이서(105)에 부착된 커버 플레이트(107), 레플리카 방법에 의해 형성된 제 1 렌즈 요소(111)를 구비하는 제 1 렌즈 기판(109), 상기 제 1 렌즈 기판(109)에 부착되는 제 2 스페이서(123) 및 레플리카 방법에 의해 형성된 제 2 렌즈 요소(127)를 구비하는 제 2 렌즈 기판(125)을 구비하는 방식처럼, 렌즈의 광학적 특성을 확보하기 위하여 기판의 한쪽면에 렌즈 요소를 복제한 후 여러 개의 기판을 적층하는 방식을 적용하였다. In the related art, as illustrated in FIG. 1A, an image sensor 103, a first spacer 105 attached to the image sensor 103, a cover plate 107 attached to the spacer 105, and a replica method are used. The first lens substrate 109 having the first lens element 111 formed by the second spacer 123 attached to the first lens substrate 109 and the second lens element 127 formed by the replica method. Like the method of having a second lens substrate 125 having a, in order to secure the optical characteristics of the lens, a method of stacking a plurality of substrates after replicating the lens element on one side of the substrate.

그러나, 이러한 방식은 여러 장의 기판을 적층함으로 인해 렌즈 요소의 높이가 높아지는 문제점이 발생한다. However, this method has a problem in that the height of the lens element is increased by stacking a plurality of substrates.

이러한 문제점을 해결하기 위해서 도 1b에 도시된 바와 같이 기판(200)의 양면에 레플리카 방법을 이용하여 형성된 렌즈 요소를 구비하여 제작하지만, 이런 경우 한쪽 면에 복제층(210)을 형성한 후 반대면에 복제층(220)을 형성할 때 복제 공정에 따라 렌즈 요소가 손상되는 문제점이 있다. In order to solve this problem, as shown in FIG. 1B, the lens element formed by using a replica method is formed on both sides of the substrate 200, but in this case, the replica layer 210 is formed on one side and the opposite side thereof. There is a problem in that the lens element is damaged by the replication process when forming the replication layer 220 in the.

또한, 복제 공정을 수행한 후, 선(300)을 따라 다이싱하여 각각의 렌즈 유닛으로 분리해 낼 때 다이싱 테이프(도시하지 않음)와의 접착면 확보를 위해서, 양면 중 한면의 렌즈 요소가 음의 굴절율을 가지는 형태로 제작되거나 또는 복제층이 형성된 기판에 다이싱을 위한 별도의 구조물을 구비해야 한다는 문제점이 있다. In addition, after performing the replication process, the lens element on one side of both sides is negative to secure the adhesive surface with the dicing tape (not shown) when dicing along the line 300 to separate it into each lens unit. There is a problem that a separate structure for dicing should be provided on a substrate having a refractive index of or formed on a substrate having a replica layer.

본 발명은 다이싱 테이프에 대한 접착이 용이하여 다이싱 공정의 문제점을 해소하여, 복제 공정시 렌즈 요소의 변형을 방지할 수 있는 결상 렌즈의 제조 방법을 제공하는데 목적이 있다. SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a method of manufacturing an imaging lens that can easily adhere to a dicing tape to solve a problem of a dicing process and prevent deformation of a lens element during a replication process.

본 발명의 다른 목적은 복제 공정시 렌즈 요소의 변형을 방지할 수 있는 제조방법에 따라 제조된 결상 렌즈를 제공하는데 있다. Another object of the present invention is to provide an imaging lens manufactured according to a manufacturing method capable of preventing deformation of a lens element during a replication process.

이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 투명 기판; 상기 투명 기판의 상측에 구비된 상부 렌즈 부재; 및 상기 투명 기판의 아래측에 상기 상부 렌즈 부재에 대응하여 구비된 하부 렌즈 부재를 포함하고, 상기 상부 렌즈 부재 또는 하부 렌즈 부재는 각각 렌즈 요소를 둘러싸고 상기 렌즈 요소의 높이보다 높은 격벽을 구비하는 것을 특징으로 하는 결상 렌즈에 관한 것이다. The present invention for achieving the above object is a transparent substrate; An upper lens member provided on an upper side of the transparent substrate; And a lower lens member disposed below the transparent substrate corresponding to the upper lens member, wherein the upper lens member or the lower lens member surrounds the lens element and has a partition wall higher than the height of the lens element. An imaging lens characterized by the above-mentioned.

본 발명에서 상기 투명 기판은 IR 차단막을 더 포함하는 것을 특징으로 하고, 상기 투명 기판은 스탑(stop)을 더 포함하는 것을 특징으로 한다. In the present invention, the transparent substrate is characterized in that it further comprises an IR blocking film, the transparent substrate is characterized in that it further comprises a stop (stop).

본 발명에서 상기 상부 렌즈 부재는 Ti, TiN, MoSi, SiNO, SiC, MoO3, Si3N4, AlGaAs, GaAs, CdSe 및 Inp의 일군에서 선택된 어느 하나의 금속성 재질, 또는 비정질 카본(amorphous carbon) 계열의 유기성 반사 방지막(organic bottom ARC)으로 이루어진 반사 방지막을 구비하는 것을 특징으로 한다. In the present invention, the upper lens member is any one metallic material selected from the group of Ti, TiN, MoSi, SiNO, SiC, MoO 3 , Si 3 N 4 , AlGaAs, GaAs, CdSe and Inp, or amorphous carbon (amorphous carbon) It is characterized by including an antireflection film made of a series organic bottom antireflection film (organic bottom ARC).

본 발명에서 상기 상부 렌즈 부재 또는 하부 렌즈 부재에 구비된 렌즈 요소는 양 또는 음의 굴절능을 가지는 비구면 형태, 또는 상기 상부 렌즈 부재 또는 하부 렌즈 부재에 구비된 렌즈 요소는 양 또는 음의 굴절능을 가지는 회절면 형태를 가지는 것을 특징으로 한다. In the present invention, the lens element provided in the upper lens member or the lower lens member is an aspherical shape having a positive or negative refractive power, or the lens element provided in the upper lens member or the lower lens member may provide a positive or negative refractive power. The branch is characterized by having a diffractive surface form.

또한, 본 발명은 상부 렌즈 요소를 둘러싸고 상기 상부 렌즈 요소보다 높은 상부 격벽을 가지는 복수의 상부 렌즈 부재를 제 2 투명 기판상에 형성하는 단계; 상기 상부 렌즈 부재와 대응하는 하부 렌즈 부재를 상기 제 2 투명 기판의 하부면에 복수개로 복제 형성하는 단계; 및 상기 상부 격벽을 지나는 절단선을 따라 상기 제 2 투명 기판을 절단(dicing)하는 단계를 포함하는 결상 렌즈의 제조 방법에 관한 것이다. In addition, the present invention includes forming a plurality of upper lens member on the second transparent substrate surrounding the upper lens element and having an upper partition wall higher than the upper lens element; Replicating a plurality of lower lens members corresponding to the upper lens members on a lower surface of the second transparent substrate; And cutting the second transparent substrate along a cutting line passing through the upper partition wall.

본 발명에서 상기 복수의 상부 렌즈 부재를 제 2 투명 기판 상에 형성하는 단계는 복수의 상부 렌즈 부재를 복제(replication)하기 위해 제 1 기판상에 스탬프를 형성하는 단계를 포함하고, 상기 스탬프를 이용하여 상기 복수의 상부 렌즈 부재를 제 2 투명 기판 상에 형성하는 것을 특징으로 한다. In the present invention, the forming of the plurality of upper lens members on the second transparent substrate includes forming a stamp on the first substrate to replicate the plurality of upper lens members, and using the stamp. To form the plurality of upper lens members on a second transparent substrate.

본 발명은 상기 하부 렌즈 부재를 복제 형성하는 단계에서 상기 하부 렌즈 부재는 상기 상부 렌즈 부재의 상부 격벽에 대응하는 하부 격벽을 포함하는 것을 특징으로 한다. The lower lens member may include a lower partition corresponding to an upper partition of the upper lens member in the replicating of the lower lens member.

본 발명에서 상기 제 2 투명 기판을 절단하는 단계는 상기 상부 격벽 또는 하부 격벽에 대해 다이싱 테이프를 접착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. Cutting the second transparent substrate may include adhering a dicing tape to the upper partition or the lower partition.

본 발명에서 상기 복수의 상부 렌즈 부재를 제 2 투명 기판상에 형성하는 단계는 상기 상부 렌즈 부재에 대해 Ti, TiN, MoSi, SiNO, SiC, MoO3, Si3N4, AlGaAs, GaAs, CdSe 및 Inp의 일군에서 선택된 어느 하나의 금속성 재질, 또는 비정질 카본(amorphous carbon) 계열의 유기성 반사 방지막(organic bottom ARC)으로 이루어진 반사 방지막을 코팅하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. In the present invention, the forming of the plurality of upper lens members on the second transparent substrate may include Ti, TiN, MoSi, SiNO, SiC, MoO 3 , Si 3 N 4 , AlGaAs, GaAs, CdSe and And coating an antireflection film made of any one metallic material selected from a group of Inp, or an organic antireflection film (amorphous carbon) based organic bottom ARC.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세하게 설명한다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2a 내지 도 2e는 본 발명의 일실시예에 따라 결상 렌즈를 제조하는 방법에 따른 공정 단면도이고, 도 3은 본 발명의 일실시예에 따라 제조된 결상 렌즈를 나타내는 단면도로서, 본 발명의 실시예에 따라 결상 렌즈를 제조하는 방법은 각각의 결상 렌즈 요소를 둘러싸는 격벽을 구비하여 다이싱 공정을 수행하는 방법을 설명하며, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에 그 상세한 설명은 생략한다. 2A to 2E are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing an imaging lens according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating an imaging lens manufactured according to an embodiment of the present invention. The method of manufacturing an imaging lens according to an example describes a method of performing a dicing process with a partition wall surrounding each of the imaging lens elements, and a detailed description of related known configurations or functions may obscure the subject matter of the present invention. If it is determined that such a detailed description is omitted.

도 2a에 도시된 바와 같이 본 발명의 실시예에 따른 결상 렌즈의 제조 방법은 베이스(400)의 일측면, 예를 들어 베이스(400)의 하측면에 결상 렌즈를 복제(replication)하기 위해 결상 렌즈와 동일한 형태로 이루어진 렌즈 몰드(402)와 격벽 몰드(401)로 구성된 마스터 몰드를 다수 접착 장착하여 마스터를 형성한다. As shown in FIG. 2A, a method of manufacturing an imaging lens according to an exemplary embodiment of the present invention provides an imaging lens for replicating an imaging lens on one side of a base 400, for example, a lower side of the base 400. The master mold is formed by adhesively mounting a plurality of master molds including the lens mold 402 and the barrier rib mold 401 having the same shape as in FIG.

마스터 몰드의 격벽 몰드(401)는 렌즈 몰드(402)를 둘러싸고 렌즈 몰드(402)의 높이보다 높은 높이로 돌출되고 평탄한 상부면을 가지는 형태로 형성되며, 최종적으로 형성하고자 하는 결상 렌즈의 크기에 따라 렌즈 몰드(402)에 대해 격벽 몰드(401)는 "D"의 거리만큼 이격되어 형성될 수 있다. 여기서, 마스터 몰드의 렌즈 몰드(402)의 형태는 반구형 볼록 렌즈의 형태를 가지지만, 이에 한정되지 않고 오목 렌즈의 형태, 양 또는 음의 굴절능을 가지는 비구면 형태, 회절면 형태로 형성될 수도 있다. The partition mold 401 of the master mold is formed in a shape surrounding the lens mold 402 and protruding to a height higher than the height of the lens mold 402 and having a flat top surface, and finally depending on the size of the imaging lens to be formed. The partition mold 401 may be spaced apart from the lens mold 402 by a distance of “D”. Here, the shape of the lens mold 402 of the master mold is in the form of a hemispherical convex lens, but is not limited thereto, and may be formed in the form of a concave lens, an aspherical surface having a positive or negative refractive power, or a diffractive surface. .

이후, 도 2b에 도시된 바와 같이, 격벽 몰드(401)을 가지는 마스터 몰드를 다수 구비한 마스터를 상하 반전시키고, 격벽 몰드(401)을 포함한 마스터 몰드를 덮도록 폴리머(403)를 도포한다. 여기서, 폴리머(403)는 UV 경화성 폴리머 또는 포토폴리머 에폭시, 폴리카보네이트, PDMS(Polydimethylsiloane) 또는 PMMA(Polymethly Methacrylate) 수지 등과 같은 폴리머를 이용할 수 있다. Thereafter, as illustrated in FIG. 2B, the master having a plurality of master molds having the partition mold 401 is vertically inverted, and the polymer 403 is applied to cover the master mold including the partition mold 401. The polymer 403 may be a UV curable polymer or a polymer such as a photopolymer epoxy, polycarbonate, polydimethylsiloane (PDMS), or polymethly methacrylate (PMMA) resin.

격벽 몰드(401)가 구성된 마스터 몰드를 덮도록 폴리머(403)를 도포한 후, 베이스(400)에 대응하여 상측에서 제 1 기판(410)으로 폴리머(403)를 압착하고 경화시켜, 폴리머(403)가 제 1 기판(410)의 하부면에 접착하게 한다. 여기서, 사용 되는 폴리머의 종류에 따라 UV를 조사하여 폴리머(403)를 경화시키는 UV 엠보싱 처리, 또는 열을 가하여 폴리머(403)를 경화시키는 핫 엠보싱(hot embossing) 처리가 수행될 수 있다. After applying the polymer 403 to cover the master mold having the partition mold 401 formed thereon, the polymer 403 is pressed and cured onto the first substrate 410 from the upper side in correspondence with the base 400. ) Adheres to the bottom surface of the first substrate 410. Here, according to the type of polymer used, UV embossing treatment to cure the polymer 403 by irradiating UV, or hot embossing treatment to cure the polymer 403 by applying heat may be performed.

특히, 도 2b에 도시된 제 1 기판(410)이 투명 기판인 경우에는 유리(glass), 실리카(fused silica), 석영(quartz), PDMS (Polydimethylsiloane), PMMA(Polymethly Methacrylate) 또는 PET (Polyethylene Terephthalate) 등의 재질로 이루어지고, UV 엠보싱 처리가 수행되어 폴리머(403)를 경화시킬 수 있다. In particular, when the first substrate 410 illustrated in FIG. 2B is a transparent substrate, glass, silica (fused silica), quartz, polydimethylsiloane (PDMS), polymethly methacrylate (PMMA), or polyethylene terephthalate (PET) may be used. ) And a UV embossing treatment to cure the polymer 403.

폴리머(403)를 경화시킨 후에 격벽 몰드(401)와 렌즈 몰드(402)가 구비된 마스터를 분리하면, 도 2c에 도시된 바와 같이 제 1 기판(410)의 하측면에 폴리머(403)로 형성된 스탬프 몰드(403-1)가 형성된다. After curing the polymer 403, the partition mold 401 and the master with the lens mold 402 are separated, and as shown in FIG. 2C, the polymer 403 is formed on the lower side of the first substrate 410. The stamp mold 403-1 is formed.

이와 같이 스탬프 몰드(403-1)를 형성하는 것과 별개로, 제 2 기판(420) 상에 알루미늄(Al)이나 크롬(Cr)과 같은 금속막 또는 감광성 폴리머막을 이용하여 스탑(stop: 430)을 형성하고, 제 2 기판(420)의 하측면에 IR 차단 필터(440)를 선택적으로 구비할 수 있다. Apart from forming the stamp mold 403-1 as described above, a stop 430 is formed on the second substrate 420 by using a metal film or a photosensitive polymer film such as aluminum (Al) or chromium (Cr). The IR blocking filter 440 may be selectively provided on the lower surface of the second substrate 420.

구체적으로, 알루미늄(Al)이나 크롬(Cr)과 같은 금속막으로 스탑(430)을 형성하는 경우에는 금속막의 높은 소수성으로 인해서 이후 스탑(430) 상에 도포되는 폴리머(450)와의 접착력이 떨어지므로, 금속막 위에 별도의 접착층을 형성하는 것이 필요하다. In detail, when the stop 430 is formed of a metal film such as aluminum (Al) or chromium (Cr), the adhesive force with the polymer 450 applied on the stop 430 is lowered due to the high hydrophobicity of the metal film. It is necessary to form a separate adhesive layer on the metal film.

반면에, 감광성 폴리머로 스탑(430)을 형성하는 경우에는 감광성 폴리머의 높은 친수성으로 인해서 폴리머(450)와의 접착력이 우수하므로, 추가로 감광성 수지층 위에 접착층을 형성할 필요가 없어지므로 공정상의 잇점이 있다. On the other hand, when the stop 430 is formed of the photosensitive polymer, since the adhesiveness with the polymer 450 is excellent due to the high hydrophilicity of the photosensitive polymer, there is no need to form an adhesive layer on the photosensitive resin layer. have.

또한, 금속막으로 스탑(430)을 형성하는 경우에는 노광, 금속막 증착, 금속막 제거의 순차적인 공정이 필요하나, 감광성 폴리머로 스탑(430)을 형성하는 경우에는 감광성 폴리머의 특성상 노광 공정만으로도 스탑(430)을 형성할 수 있어 제작 비용 및 시간을 단축할 수 있다. In addition, when the stop 430 is formed of a metal film, a sequential process of exposure, metal film deposition, and metal film removal is required. However, when the stop 430 is formed of a photosensitive polymer, only the exposure process may be performed due to the characteristics of the photosensitive polymer. The stop 430 may be formed to reduce manufacturing cost and time.

한편, 알루미늄(Al)이나 크롬(Cr)과 같은 금속막은 높은 반사율을 가지므로 스탑(430)을 통과한 광이 제 2 기판(420) 이나 다른 렌즈 요소들에 대해 다시 반사되어 결과적으로 화상 저하를 가져오는 문제가 있는 반면에, 가시광 영역에서 높은 광 흡수율을 가지는 감광성 수지층을 사용할 경우, 상기와 같은 내부 전반사로 인한 화상 저하의 문제점을 해결할 수 있다. 여기서, 스탑(430)을 이루는 감광성 폴리머는 가시광 영역에서의 광 흡수율이 90% 이상인 것이 바람직하다. On the other hand, metal films such as aluminum (Al) and chromium (Cr) have high reflectivity, so that light passing through the stop 430 is reflected back to the second substrate 420 or other lens elements, resulting in image degradation. On the other hand, when using a photosensitive resin layer having a high light absorption in the visible region, the problem of image degradation due to the total internal reflection as described above can be solved. Here, the photosensitive polymer constituting the stop 430 preferably has a light absorption of 90% or more in the visible light region.

이와 같이 상부면에 스탑(430)을 형성하고 하측면에 IR 차단 필터(440)를 구비한 제 2 기판(420)에 대해, 도 2c에 도시된 바와 같이 스탑(430)을 포함한 제 2 기판(420) 상에 렌즈용 투명 폴리머(450)를 도포한다. As described above with respect to the second substrate 420 having the stop 430 formed on the upper surface and the IR cut filter 440 on the lower surface, the second substrate including the stop 430 as shown in FIG. The transparent polymer 450 for the lens is coated on the 420.

제 2 기판(420) 상에 렌즈용 투명 폴리머(450)를 도포한 후, 스탬프 몰드(403-1)를 구비한 제 1 기판(410)을 이용하여 상측에서 제 2 기판(420) 상의 렌즈용 투명 폴리머(450)를 압착하고 경화시킨다. 여기서, 제 1 기판(410)의 스탬프 몰드(403-1)를 이용하여 제 2 기판(420) 상의 렌즈용 투명 폴리머(450)를 압착하는 경우, 스탬프 몰드(403-1)와 렌즈용 투명 폴리머(450)가 서로 접촉하지 않도록 선택적으로 스탬프 몰드(403-1)의 내면에 이형제(Release agent)를 충분히 발라 렌즈용 투명 폴리머(450)에 대해 스탬프 몰드(403-1)를 용이하게 분리할 수 있다. 따라서, 스탬프 몰드(403-1)를 이용하여 렌즈용 투명 폴리머(450)를 압착 경화한 후 분리하면, 도 2d에 도시된 바와 같이 스탬프 몰드(403-1)의 내측 형상을 그대로 제 2 기판(420) 상에 각각의 렌즈 요소(452)와 각 렌즈 요소(452)를 둘러싸고 렌즈 요소(452)의 높이보다 높고 상부면이 평평한 상부 격벽(451)을 포함한 상부 렌즈 부재가 복제 형성될 수 있다. After applying the transparent polymer 450 for the lens on the second substrate 420, for the lens on the second substrate 420 from the upper side using the first substrate 410 having the stamp mold 403-1 The transparent polymer 450 is compressed and cured. Here, when the lens transparent polymer 450 on the second substrate 420 is pressed using the stamp mold 403-1 of the first substrate 410, the stamp mold 403-1 and the transparent polymer for the lens are pressed. By selectively applying a release agent on the inner surface of the stamp mold 403-1 so that the 450 does not contact each other, the stamp mold 403-1 can be easily separated from the transparent polymer 450 for the lens. have. Accordingly, when the transparent polymer 450 for the lens is pressed and cured using the stamp mold 403-1, and then separated, the inner shape of the stamp mold 403-1 may be removed as shown in FIG. 2D. An upper lens member may be replicated on 420 including an upper partition 451 surrounding each lens element 452 and each lens element 452 and higher than the height of the lens element 452 and having a flat top surface.

이어서, 선택적으로 제 2 기판(420)의 IR 차단 필터(440) 하측면에 대해 스탬프 몰드(403-1)와 유사한 다른 스탬프 몰드(도시하지 않음)를 이용하여 IR 차단 필터(440) 하측면에 도포된 다른 렌즈용 투명 폴리머를 압착 분리하여, 도 2d에 도시된 바와 같이 각각의 하부 렌즈 요소(453)를 상부 렌즈 부재의 렌즈 요소(452)에 대응하도록 복제 형성된다. Subsequently, the lower surface of the IR blocking filter 440 may be selectively used with another stamp mold (not shown) similar to the stamp mold 403-1 with respect to the lower surface of the IR blocking filter 440 of the second substrate 420. The applied transparent polymer for the other lens is pressed apart so that each lower lens element 453 is replicated to correspond to the lens element 452 of the upper lens member, as shown in FIG. 2D.

이때, 하부 렌즈 요소(453)가 상부 렌즈 부재의 상부 렌즈 요소(452)에 대응하도록 복제 형성될 때, 압착 과정에서 상부 렌즈 요소(452)가 손상되는 것을 상부 렌즈 부재의 상부 격벽(451)에 의해 방지할 수 있다. At this time, when the lower lens element 453 is replicated to correspond to the upper lens element 452 of the upper lens member, the upper lens element 452 is damaged in the pressing process to the upper partition 451 of the upper lens member. Can be prevented by

또한, 하부 렌즈 요소(453)와 상부 렌즈 요소(452)에 대해 선택적으로 반사 방지막을 구비할 수 있고, 반사 방지막은 예컨대, Ti, TiN, MoSi, SiNO, SiC, MoO3, Si3N4, AlGaAs, GaAs, CdSe 및 Inp의 일군에서 선택된 어느 하나의 금속성 재질, 또는 비정질 카본(amorphous carbon) 계열의 유기성 반사 방지막(organic bottom ARC)을 사용할 수 있다. In addition, an anti-reflection film may be selectively provided for the lower lens element 453 and the upper lens element 452, and the anti-reflection film may be, for example, Ti, TiN, MoSi, SiNO, SiC, MoO 3 , Si 3 N 4 , or the like. Any one metallic material selected from the group of AlGaAs, GaAs, CdSe, and Inp, or an amorphous carbon-based organic bottom ARC may be used.

이와 같이 제 2 기판(420)을 기준으로 상부면에 상부 격벽(451)과 상부 렌즈 요소(452)를 형성하고 하부면에 하부 렌즈 요소(453)를 형성한 후, 도 2e에 도시된 바와 같이 상부 격벽(451)에 대해 다이싱 테이프(460)를 접착할 수 있다. As described above, after forming the upper partition 451 and the upper lens element 452 on the upper surface and the lower lens element 453 on the lower surface based on the second substrate 420, as shown in Figure 2e The dicing tape 460 may be adhered to the upper partition 451.

도 2e에 도시된 바와 같이, 상부 렌즈 부재의 상부 격벽(451)은 각각 상부 렌즈 요소(452)의 높이보다 높고 평평한 상부면을 구비한 형태이므로, 다이싱 공정을 수행하기 위한 다이싱 테이프(460)를 접착하는데 용이하다. As shown in FIG. 2E, the upper partition wall 451 of the upper lens member has a flat upper surface that is higher than the height of the upper lens element 452, and thus the dicing tape 460 for performing the dicing process. ) Is easy to bond.

이어서, 상부 격벽(451)에 대해 다이싱 테이프(460)를 접착한 상태에서, 도 2e에 도시된 바와 같이 각각의 상부 렌즈 요소(452)와 하부 렌즈 요소(453)를 일체로 각각 분리하기 위해 상부 격벽(451)을 관통하도록 설정된 절단선(470)을 따라 절단하는 다이싱(dicing) 공정을 수행한다. Subsequently, with the dicing tape 460 adhered to the upper partition 451, to separate each of the upper lens element 452 and the lower lens element 453 integrally as shown in FIG. 2E. A dicing process is performed to cut along the cutting line 470 set to penetrate the upper partition 451.

여기서, 절단선(470)을 따라 절단하는 다이싱(dicing) 공정을 수행함에 있어서, 다이싱 공정을 수행하는 과정에서 이용되는 블레이드(blade)에 의한 상부 렌즈 요소(452)의 손상을 방지하기 위해 블레이드의 폭보다 상부 격벽(451)의 상부면 폭이 더 넓어야 한다. Here, in the dicing process of cutting along the cutting line 470, in order to prevent damage to the upper lens element 452 by the blade (blade) used in the process of performing the dicing process The upper surface of the upper partition 451 should be wider than the width of the blade.

따라서, 절단선(470)을 따라 다이싱(dicing) 공정을 수행하면, 도 3에 도시된 바와 같이 제 2 기판(420)을 기준으로 상부면의 스탑(430), 상부 격벽(451) 및 상부 렌즈 요소(452)를 구비하고, 하부면으로 IR 차단 필터(440) 및 하부 렌즈 요소(453)를 순차적으로 구비한 결상 렌즈가 제조된다. Therefore, when the dicing process is performed along the cutting line 470, as shown in FIG. 3, the stop 430, the upper partition 451, and the upper surface of the upper surface of the second substrate 420 may be referred to. An imaging lens having a lens element 452 and sequentially provided with an IR blocking filter 440 and a lower lens element 453 on its lower surface is manufactured.

이하, 본 발명의 다른 실시예에 따라 결상 렌즈를 제조하는 방법을 도면을 참조하여 설명한다. Hereinafter, a method of manufacturing an imaging lens according to another exemplary embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

도 4a 내지 도 4e는 본 발명의 다른 실시예에 따라 결상 렌즈를 제조하는 방법에 따른 공정 단면도이고, 도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따라 제조된 결상 렌즈를 나타내는 단면도이다. 4A to 4E are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing an imaging lens according to another exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a cross-sectional view illustrating an imaging lens manufactured according to another exemplary embodiment of the present invention.

먼저, 도 4a에 도시된 바와 같이 본 발명의 다른 실시예에 따른 결상 렌즈의 제조 방법은 베이스(500)의 일측면, 예를 들어 베이스(500)의 하측면에 결상 렌즈를 복제(replication)하기 위해 결상 렌즈와 동일한 형태로 이루어진 마스터 몰드(510)를 다수 접착 장착하여 마스터를 구비한다. First, as illustrated in FIG. 4A, a method of manufacturing an imaging lens according to another exemplary embodiment of the present invention includes replicating an imaging lens on one side of the base 500, for example, a lower side of the base 500. In order to provide a master by mounting a plurality of master mold 510 made of the same shape as the imaging lens.

마스터 몰드(510)는 이후 형성될 렌즈 요소와 동일한 형태를 가지며, 각 렌즈 요소를 둘러싸고 렌즈 요소보다 높은 높이로 돌출되고 평탄한 상부면을 가지는 격벽(511)을 가진다. 여기서, 마스터 몰드(510)의 렌즈 요소의 형태는 반구형 볼록 렌즈의 형태를 가지지만, 이에 한정되지 않고 오목 렌즈의 형태, 양 또는 음의 굴절능을 가지는 비구면 형태, 회절면 형태로 형성될 수도 있다. The master mold 510 has the same shape as the lens element to be formed later, and has a partition wall 511 that surrounds each lens element and protrudes higher than the lens element and has a flat top surface. Here, the shape of the lens element of the master mold 510 may have the shape of a hemispherical convex lens, but is not limited thereto, and may be formed in the form of a concave lens, an aspherical surface having a positive or negative refractive power, or a diffractive surface. .

이후, 도 4b에 도시된 바와 같이, 격벽(511)을 가지는 마스터 몰드(510)를 다수 구비한 마스터를 상하 반전시키고, 격벽(511)을 포함한 마스터 몰드(510)를 덮도록 폴리머(600)를 도포한다. 여기서, 폴리머(600)는 UV 경화성 폴리머 또는 포토폴리머 에폭시, 폴리카보네이트, PMMA(Polymethly Methacrylate) 수지 또는 PDMS (Polydimethylsiloane) 등과 같은 폴리머를 이용할 수 있다. Thereafter, as illustrated in FIG. 4B, the polymer 600 is disposed to cover the master mold 510 including the partition 511 up and down by inverting the master including a plurality of the master mold 510 having the partition 511 up and down. Apply. The polymer 600 may be a UV curable polymer or a polymer such as a photopolymer epoxy, polycarbonate, polymethly methacrylate (PMMA) resin, or polydimethylsiloane (PDMS).

격벽(511)이 구비된 마스터 몰드(510)를 덮도록 폴리머(600)를 도포한 후, 베이스(500)에 대응하여 상측에서 제 1 기판(700)으로 폴리머(600)를 압착하여, 폴리머(600)가 제 1 기판(700)의 하부면에 접착하고 제 1 기판(700)의 상부측에서 UV를 조사하여 폴리머(600)를 경화시키는 UV 엠보싱 처리를 수행한다. 물론, 사용되는 폴리머의 특성에 따라 UV를 조사하여 폴리머(600)를 경화시키는 UV 엠보싱 처리, 또는 열을 가하여 폴리머(600)를 경화시키는 핫 엠보싱(hot embossing) 처리가 수행될 수도 있다. After the polymer 600 is coated to cover the master mold 510 having the partition wall 511, the polymer 600 is pressed onto the first substrate 700 from the upper side corresponding to the base 500, thereby compressing the polymer ( 600 is adhered to the lower surface of the first substrate 700 and the UV embossing process for curing the polymer 600 by irradiating UV from the upper side of the first substrate 700. Of course, depending on the properties of the polymer used, UV embossing treatment to cure the polymer 600 by irradiation with UV, or hot embossing treatment to cure the polymer 600 by applying heat may be performed.

도 4b에 도시된 제 1 기판(700)은 유리(glass), 실리카(fused silica), 석영(quartz), PDMS (Polydimethylsiloane), PMMA(Polymethly Methacrylate) 또는 PET (Polyethylene Terephthalate) 등의 재질로 이루어지는 투명 기판일 수 있고, 제 1 기판(700)이 이러한 투명 기판인 경우 UV 엠보싱 처리가 수행되어 폴리머(600)를 경화시킬 수 있다. The first substrate 700 illustrated in FIG. 4B is a transparent material made of glass, silica, quartz, polydimethylsiloane (PDMS), polymethly methacrylate (PMMA), or polyethylene terephthalate (PET). If the first substrate 700 is such a transparent substrate, UV embossing may be performed to cure the polymer 600.

폴리머(600)를 경화시킨 후에 격벽(511)이 구비된 마스터 몰드(510)를 분리하면, 도 4c에 도시된 바와 같이 제 1 기판(700)의 하측면에 폴리머(600)로 형성된 스탬프 몰드(610)가 형성된다. After curing the polymer 600 and removing the master mold 510 having the partition wall 511, the stamp mold formed of the polymer 600 on the lower side of the first substrate 700 as shown in FIG. 4C ( 610 is formed.

이와 같이 스탬프 몰드(610)를 형성하는 것과 별개로, 제 2 투명 기판(800) 상에 알루미늄(Al)이나 크롬(Cr)과 같은 금속막 또는 감광성 폴리머막을 이용하여 스탑(stop: 820)을 형성하고, 제 2 투명 기판(800)의 하측면에 IR 차단 필터(810)를 구비한다. Apart from forming the stamp mold 610 as described above, a stop 820 is formed on the second transparent substrate 800 by using a metal film or a photosensitive polymer film such as aluminum (Al) or chromium (Cr). In addition, an IR blocking filter 810 is provided on the lower surface of the second transparent substrate 800.

구체적으로, 알루미늄(Al)이나 크롬(Cr)과 같은 금속막으로 스탑(820)을 형성하는 경우에는 금속막의 높은 소수성으로 인해서 이후 스탑(820) 상에 도포되는 폴리머(830)와의 접착력이 떨어지므로, 금속막 위에 별도의 접착층을 형성하는 것이 필요하다. In detail, when the stop 820 is formed of a metal film such as aluminum (Al) or chromium (Cr), the adhesive force with the polymer 830 applied on the stop 820 is lowered due to the high hydrophobicity of the metal film. It is necessary to form a separate adhesive layer on the metal film.

반면에, 감광성 폴리머로 스탑(820)을 형성하는 경우에는 감광성 폴리머의 높은 친수성으로 인해서 폴리머(830)와의 접착력이 우수하므로, 추가로 감광성 수지층 위에 접착층을 형성할 필요가 없어지므로 공정상의 잇점이 있다. On the other hand, when the stop 820 is formed of the photosensitive polymer, since the adhesiveness with the polymer 830 is excellent due to the high hydrophilicity of the photosensitive polymer, there is no need to form an adhesive layer on the photosensitive resin layer. have.

또한, 금속막으로 스탑(820)을 형성하는 경우에는 노광, 금속막 증착, 금속막 제거의 순차적인 공정이 필요하나, 감광성 폴리머로 스탑(820)을 형성하는 경우에는 감광성 폴리머의 특성상 노광 공정만으로도 스탑(820)을 형성할 수 있어 제작 비용 및 시간을 단축할 수 있다. In addition, when the stop 820 is formed of a metal film, a sequential process of exposure, deposition of a metal film, and removal of the metal film is required. However, when the stop 820 is formed of a photosensitive polymer, only an exposure process is required due to the characteristics of the photosensitive polymer. The stop 820 may be formed to reduce manufacturing cost and time.

한편, 알루미늄(Al)이나 크롬(Cr)과 같은 금속막은 높은 반사율을 가지므로 스탑(820)을 통과한 광이 제 2 투명 기판(800) 이나 다른 렌즈 요소들에 대해 다시 반사되어 결과적으로 화상 저하를 가져오는 문제가 있는 반면에, 가시광 영역에서 높은 광 흡수율을 가지는 감광성 수지층을 사용할 경우, 상기와 같은 내부 전반사로 인한 화상 저하의 문제점을 해결할 수 있다. 여기서, 스탑(820)을 이루는 감광성 폴리머는 가시광 영역에서의 광 흡수율이 90% 이상인 것이 바람직하다. On the other hand, metal films such as aluminum (Al) and chromium (Cr) have high reflectance, so that light passing through the stop 820 is reflected back to the second transparent substrate 800 or other lens elements, resulting in image degradation. On the other hand, when using the photosensitive resin layer having a high light absorption in the visible light region, it is possible to solve the problem of image degradation due to the total internal reflection as described above. Here, the photosensitive polymer constituting the stop 820 preferably has a light absorption of 90% or more in the visible light region.

이와 같이 상부면에 스탑(820)을 형성하고 하측면에 IR 차단 필터(810)를 구 비한 제 2 투명 기판(800)에 대해, 도 4d에 도시된 바와 같이 스탑(820)을 포함한 제 2 투명 기판(800) 상에 렌즈용 투명 폴리머(830)를 도포한다. As described above, the second transparent substrate 800 including the stop 820 is formed on the second transparent substrate 800 having the stop 820 formed on the upper surface and the IR blocking filter 810 disposed on the lower surface thereof. The transparent polymer 830 for the lens is coated on the substrate 800.

제 2 투명 기판(800) 상에 렌즈용 투명 폴리머(830)를 도포한 후, 스탬프 몰드(610)를 구비한 제 1 기판(700)을 이용하여 상측에서 제 2 투명 기판(800) 상의 렌즈용 투명 폴리머(830)를 압착하고, 제 2 투명 기판(800)의 상부측에서 UV를 조사하여 렌즈용 투명 폴리머(830)를 경화시키는 UV 엠보싱 처리를 수행한다. 여기서, 제 1 기판(700)의 스탬프 몰드(610)를 이용하여 제 2 투명 기판(800) 상의 렌즈용 투명 폴리머(830)를 압착하고 경화하는 경우, 스탬프 몰드(610)와 렌즈용 투명 폴리머(830)가 서로 접촉되지 않도록 선택적으로 스탬프 몰드(610)의 내면에 이형막을 형성하여 렌즈용 투명 폴리머(830)에 대해 스탬프 몰드(610)를 용이하게 분리할 수 있다. After applying the transparent polymer 830 for the lens on the second transparent substrate 800, the lens for the lens on the second transparent substrate 800 from the upper side using the first substrate 700 having the stamp mold 610 The transparent polymer 830 is compressed and UV embossed to cure the transparent polymer 830 for lenses by irradiating UV from the upper side of the second transparent substrate 800. Here, in the case of pressing and curing the transparent polymer 830 for the lens on the second transparent substrate 800 using the stamp mold 610 of the first substrate 700, the stamp mold 610 and the transparent polymer for the lens ( The stamp mold 610 may be easily separated from the transparent polymer 830 for the lens by selectively forming a release film on the inner surface of the stamp mold 610 so that the 830 does not contact each other.

따라서, 스탬프 몰드(610)를 이용하여 렌즈용 투명 폴리머(830)를 압착 경화하고 분리하면, 도 4e에 도시된 바와 같이 스탬프 몰드(610)의 내측 형태를 그대로 제 2 투명 기판(800) 상에 각각의 렌즈 요소(833)를 둘러싸고 렌즈 요소(833)의 높이보다 높고 상부면이 평평한 상부 격벽(832)을 포함한 상부 렌즈 부재(831)가 복제 형성될 수 있다. Accordingly, when the lens transparent polymer 830 is press-cured and separated using the stamp mold 610, the inner shape of the stamp mold 610 may be left on the second transparent substrate 800 as shown in FIG. 4E. An upper lens member 831 can be formed that includes an upper partition 832 that surrounds each lens element 833 and is higher than the height of the lens element 833 and whose top surface is flat.

또한, 선택적으로 제 2 투명 기판(800)의 IR 차단 필터(810) 하측면에 대해 상부 렌즈 부재(831)의 제조 과정과 동일하게, 스탬프 몰드(610)와 동일한 다른 스탬프 몰드(도시하지 않음)를 이용하여 IR 차단 필터(810) 하측면에 도포된 다른 렌즈용 투명 폴리머를 압착 경화하고 분리하여, 도 4e에 도시된 바와 같이 각각의 렌 즈 요소를 둘러싸고 렌즈요소의 높이보다 높고 상부면이 편평한 하부 격벽(842)을 포함한 하부 렌즈 부재(841)가 상부 렌즈 부재(831)에 대응하도록 복제 형성될 수 있다. In addition, another stamp mold (not shown), which is identical to the stamp mold 610, may be optionally manufactured in the same manner as the manufacturing process of the upper lens member 831 with respect to the bottom surface of the IR blocking filter 810 of the second transparent substrate 800. Press-curing and separating the other transparent polymer for the lens applied to the lower side of the IR blocking filter 810 by using, surrounding each of the lens elements as shown in Figure 4e, the height of the lens element is higher than the flat surface The lower lens member 841 including the lower partition wall 842 may be replicated to correspond to the upper lens member 831.

따라서, 하부 렌즈 부재(841)가 상부 렌즈 부재(831)에 대응하도록 복제 형성될 때, 압착 과정에서 상부 렌즈 부재(831)의 렌즈 요소가 손상되는 것을 상부 렌즈 부재(831)의 상부 격벽(832)에 의해 방지할 수 있다. Accordingly, when the lower lens member 841 is formed to duplicate the upper lens member 831, the upper partition 832 of the upper lens member 831 may be damaged when the lens element of the upper lens member 831 is damaged during the pressing process. Can be prevented.

또한, 상부 렌즈 부재(831)와 하부 렌즈 부재(841)에 대해 선택적으로 반사 방지막(도시하지 않음)을 구비할 수 있고, 반사 방지막은 예컨대, Ti, TiN, MoSi, SiNO, SiC, MoO3, Si3N4, AlGaAs, GaAs, CdSe 및 Inp의 일군에서 선택된 어느 하나의 금속성 재질, 또는 비정질 카본(amorphous carbon) 계열의 유기성 반사 방지막(organic bottom ARC)을 사용할 수 있다. In addition, an antireflection film (not shown) may be selectively provided for the upper lens member 831 and the lower lens member 841, and the antireflection film may be, for example, Ti, TiN, MoSi, SiNO, SiC, MoO 3 , or the like. Any one metallic material selected from the group of Si 3 N 4 , AlGaAs, GaAs, CdSe, and Inp, or an organic carbon-based organic bottom ARC may be used.

이와 같이 제 2 투명 기판(800)을 기준으로 상부면과 하부면에 각각 상부 렌즈 부재(831)와 하부 렌즈 부재(841)를 형성한 후, 상부 렌즈 부재(831)와 하부 렌즈 부재(841)중 어느 하나의 격벽(832, 842)에 대해 다이싱 테이프를 접착하여, 도 4f에 도시된 바와 같이 하부 렌즈 부재(841)의 하부 격벽(842)에 대해 다이싱 테이프(850)를 접착할 수 있다. As described above, after the upper lens member 831 and the lower lens member 841 are formed on the upper and lower surfaces of the second transparent substrate 800, the upper lens member 831 and the lower lens member 841 are formed. The dicing tape may be adhered to any one of the partitions 832 and 842, and the dicing tape 850 may be adhered to the lower partition 842 of the lower lens member 841, as shown in FIG. 4F. have.

도 4f에 도시된 바와 같이, 상부 렌즈 부재(831)의 상부 격벽(832)과 하부 렌즈 부재(841)의 하부 격벽(842)은 각각 렌즈 요소의 높이보다 높고 평평한 상부면을 구비한 형태이므로, 다이싱 공정을 수행하기 위한 다이싱 테이프(850)를 접착 하는데 용이하다. As shown in FIG. 4F, the upper partition 832 of the upper lens member 831 and the lower partition 842 of the lower lens member 841 each have a flat upper surface that is higher than the height of the lens element. It is easy to adhere the dicing tape 850 for performing the dicing process.

이어서, 하부 렌즈 부재(841)의 하부 격벽(842)에 대해 다이싱 테이프(850)를 접착한 상태에서, 도 4f에 도시된 바와 같이 각각의 렌즈 요소를 구비한 상부 렌즈 부재(831)와 하부 렌즈 부재(841)를 일체로 각각 분리하기 위해 상부 격벽(832)과 하부 격벽(842)을 관통하여 설정된 다수의 절단선(900)을 따라 절단하는 다이싱(dicing) 공정을 수행한다. Subsequently, with the dicing tape 850 adhered to the lower partition 842 of the lower lens member 841, the upper lens member 831 and the lower with the respective lens elements as shown in FIG. 4F. A dicing process is performed to cut along the plurality of cut lines 900 set through the upper partition 832 and the lower partition 842 to separate the lens members 841 integrally.

여기서, 절단선(900)을 따라 절단하는 다이싱 공정을 수행함에 있어서, 다이싱 공정을 수행하는 과정에서 이용되는 블레이드(blade)에 의한 렌즈 요소의 손상을 방지하기 위해 블레이드의 폭보다 상부 격벽(832)과 하부 격벽(842)의 각 상부면 폭이 더 넓어야 한다. Here, in performing the dicing process to cut along the cutting line 900, in order to prevent damage to the lens element by the blade (blade) used in the process of performing the dicing process the upper partition wall ( Each upper surface of the 832 and the lower partition 842 should be wider.

따라서, 절단선(900)을 따라 다이싱(dicing) 공정을 수행하면, 도 5에 도시된 바와 같이 제 2 투명 기판(800)을 기준으로 상부면의 스탑(820)과 상부 격벽(832)을 가지는 상부 렌즈 부재(831)를 구비하고, 하부면으로 IR 차단 필터(810) 및 하부 격벽(842)을 가지는 하부 렌즈 부재(841)를 순차적으로 구비한 결상 렌즈가 제조된다. Therefore, when the dicing process is performed along the cutting line 900, as shown in FIG. 5, the stop 820 and the upper partition 832 of the upper surface of the second transparent substrate 800 may be formed. The image forming lens is provided with an upper lens member 831 having a branch and a lower lens member 841 sequentially having an IR blocking filter 810 and a lower partition 842 on its lower surface.

이와 같이 본 발명의 실시예에 따른 결상 렌즈의 제조 방법에 따라 투명 기판의 한쪽 면 또는 양쪽 면에 렌즈 요소의 높이보다 높고 상부면이 평평한 격벽을 렌즈 요소와 함께 복제 형성함으로써, 투명 기판의 반대면에 추가의 렌즈 요소를 복제할 때 먼저 복제된 렌즈 요소의 변형을 격벽에 의해 방지하고, 렌즈 요소의 형상과 무관하게 다이싱 공정을 수행하기 위한 다이싱 테이프에 대한 접착면을 확보 하여 다이싱 공정의 편의를 도모할 수 있다. Thus, according to the manufacturing method of the imaging lens according to the embodiment of the present invention by replicating the partition wall with the lens element higher than the height of the lens element and flat surface on one or both surfaces of the transparent substrate, the opposite side of the transparent substrate When duplicating additional lens elements in the dicing process, the deformation of the duplicated lens elements is first prevented by the partition wall, and the dicing process is secured by securing an adhesive surface to the dicing tape for performing the dicing process regardless of the shape of the lens element. It can be convenient.

본 발명의 기술사상은 상기 바람직한 실시예에 따라 구체적으로 기술되었으나, 전술한 실시예들은 그 설명을 위한 것이며, 그 제한을 위한 것이 아님을 주의하여야 한다. Although the technical spirit of the present invention has been described in detail according to the above-described preferred embodiment, it should be noted that the above-described embodiments are for the purpose of description and not of limitation.

또한, 본 발명의 기술분야의 통상의 전문가라면 본 발명의 기술사상의 범위내에서 다양한 실시가 가능함을 이해할 수 있을 것이다. In addition, those skilled in the art will understand that various implementations are possible within the scope of the technical idea of the present invention.

상기한 바와 같이 본 발명은 투명 기판의 한쪽 면 또는 양쪽 면에 렌즈 요소의 높이보다 높고 상부면이 평평한 격벽을 렌즈 요소와 함께 복제 형성함으로써, 투명 기판의 반대면에 추가의 렌즈 요소를 복제할 때 먼저 복제된 렌즈 요소의 변형을 방지하는 격벽을 구비한 결상 렌즈를 제공할 수 있다. As described above, the present invention duplicates a partition with a lens element that is higher than the height of the lens element on one or both sides of the transparent substrate and has a flat upper surface, thereby replicating additional lens elements on the opposite side of the transparent substrate. First, an imaging lens having a partition wall for preventing deformation of a replicated lens element can be provided.

또한, 본 발명은 렌즈 요소의 형상과 무관하게 렌즈 요소를 둘러싸고 렌즈 요소의 높이보다 높으며 상부가 평평한 격벽을 이용하여, 다이싱 공정을 수행하기 위한 다이싱 테이프에 대한 접착면을 확보하여 다이싱 공정의 편의를 도모할 수 있는 결상 렌즈의 제조 방법을 제공할 수 있다. In addition, the present invention uses a partition wall that surrounds the lens element and is higher than the height of the lens element and has a flat upper surface, regardless of the shape of the lens element, to secure an adhesive surface to the dicing tape for performing the dicing process, the dicing process The manufacturing method of the imaging lens which can aim at convenience can be provided.

Claims (19)

일 면에 IR 차단막을 포함하며, 타 면에 감광성 폴리머 재질로 형성된 스탑(stop)을 포함하는 투명 기판; A transparent substrate including an IR blocking film on one surface and a stop formed on the other surface of the photosensitive polymer material; 상기 투명 기판의 상측에 구비된 상부 렌즈 부재; 및 An upper lens member provided on an upper side of the transparent substrate; And 상기 투명 기판의 아래측에 상기 상부 렌즈 부재에 대응하여 구비된 하부 렌즈 부재를 포함하고, A lower lens member disposed below the transparent substrate to correspond to the upper lens member; 상기 상부 렌즈 부재 또는 하부 렌즈 부재는 각각 렌즈 요소를 둘러싸고 상기 렌즈 요소의 높이보다 높은 격벽을 구비하는 것을 특징으로 하는 결상 렌즈. And the upper lens member or the lower lens member respectively have a partition wall surrounding the lens element and having a height higher than the height of the lens element. 삭제delete 삭제delete 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 상부 렌즈 부재는 The upper lens member is Ti, TiN, MoSi, SiNO, SiC, MoO3, Si3N4, AlGaAs, GaAs, CdSe 및 Inp의 일군에서 선택된 어느 하나의 금속성 재질, 또는 비정질 카본(amorphous carbon) 계열 의 유기성 반사 방지막(organic bottom ARC)으로 이루어진 반사 방지막을 구비하는 것을 특징으로 하는 결상 렌즈. Organic bottom anti-organic film (organic bottom) of any metallic material selected from the group of Ti, TiN, MoSi, SiNO, SiC, MoO 3 , Si 3 N 4 , AlGaAs, GaAs, CdSe and Inp, or amorphous carbon An imaging lens comprising an antireflection film made of ARC). 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 하부 렌즈 부재는 The lower lens member is Ti, TiN, MoSi, SiNO, SiC, MoO3, Si3N4, AlGaAs, GaAs, CdSe 및 Inp의 일군에서 선택된 어느 하나의 금속성 재질, 또는 비정질 카본(amorphous carbon) 계열의 유기성 반사 방지막(organic bottom ARC)으로 이루어진 반사 방지막을 구비하는 것을 특징으로 하는 결상 렌즈. Organic bottom film of any one metallic material selected from the group of Ti, TiN, MoSi, SiNO, SiC, MoO 3 , Si 3 N 4 , AlGaAs, GaAs, CdSe and Inp, or amorphous carbon series An imaging lens comprising an antireflection film made of ARC). 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 상부 렌즈 부재 또는 하부 렌즈 부재에 구비된 렌즈 요소는 양 또는 음의 굴절능을 가지는 비구면 형태인 것을 특징으로 하는 결상 렌즈. The lens element of the upper lens member or the lower lens member is an imaging lens, characterized in that the aspherical shape having a positive or negative refractive power. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 상부 렌즈 부재 또는 하부 렌즈 부재에 구비된 렌즈 요소는 양 또는 음의 굴절능을 가지는 회절면 형태를 가지는 것을 특징으로 하는 결상 렌즈. An imaging lens, characterized in that the lens element provided in the upper lens member or the lower lens member has a diffractive surface form having a positive or negative refractive power. 상부 렌즈 요소를 둘러싸고 상기 상부 렌즈 요소보다 높은 상부 격벽을 가지 는 복수의 상부 렌즈 부재를 제 2 투명 기판상에 형성하는 단계; Forming a plurality of upper lens members on the second transparent substrate, the plurality of upper lens members surrounding the upper lens element and having an upper partition wall higher than the upper lens element; 상기 상부 렌즈 부재와 대응하는 하부 렌즈 부재를 상기 제 2 투명 기판의 하부면에 복수개로 복제 형성하는 단계; 및 Replicating a plurality of lower lens members corresponding to the upper lens members on a lower surface of the second transparent substrate; And 상기 상부 격벽을 지나는 절단선을 따라 상기 제 2 투명 기판을 절단(dicing)하는 단계Cutting the second transparent substrate along a cutting line passing through the upper partition wall 를 포함하는 결상 렌즈의 제조 방법. Method of manufacturing an imaging lens comprising a. 제 8 항에 있어서, The method of claim 8, 상기 복수의 상부 렌즈 부재를 제 2 투명 기판 상에 형성하는 단계는 Forming the plurality of upper lens members on a second transparent substrate 복수의 상부 렌즈 부재를 복제(replication)하기 위해 제 1 기판상에 스탬프를 형성하는 단계를 포함하고, Forming a stamp on the first substrate for replicating the plurality of upper lens members; 상기 스탬프를 이용하여 상기 복수의 상부 렌즈 부재를 제 2 투명 기판 상에 형성하는 것을 특징으로 하는 결상 렌즈의 제조 방법. And a plurality of upper lens members are formed on a second transparent substrate by using the stamp. 제 9 항에 있어서, The method of claim 9, 상기 제 1 기판 상에 상기 스탬프를 형성하는 단계는 Forming the stamp on the first substrate is 베이스의 일측면에 렌즈 요소 몰드를 둘러싸고 상기 렌즈 요소 몰드의 높이 보다 높게 돌출되고 평탄한 상부면을 가지는 격벽 몰드를 포함하는 마스터 몰드를 다수 장착하여 마스터를 형성하는 단계; Forming a master by surrounding a lens element mold on one side of the base and mounting a plurality of master molds including a partition mold having a flat top surface protruding higher than the height of the lens element mold; 상기 마스터 몰드를 덮도록 폴리머를 상기 베이스 상에 도포하는 단계; 및 Applying a polymer onto the base to cover the master mold; And 상기 베이스에 대응하여 상측에서 제 1 기판으로 상기 폴리머를 압착 경화하고 분리하여 상기 제 1 기판에 스탬프 몰드를 다수 구비한 스탬프를 형성하는 단계 Pressing-curing and separating the polymer from the upper side to the first substrate corresponding to the base to form a stamp having a plurality of stamp molds on the first substrate. 를 포함하는 것을 특징으로 하는 결상 렌즈의 제조 방법. Method of manufacturing an imaging lens comprising a. 제 8 항에 있어서, The method of claim 8, 상기 하부 렌즈 부재를 복제 형성하는 단계에서 Replicating the lower lens member 상기 하부 렌즈 부재는 상기 상부 렌즈 부재의 상부 격벽에 대응하는 하부 격벽을 포함하는 것을 특징으로 하는 결상 렌즈의 제조 방법. The lower lens member includes a lower partition corresponding to the upper partition of the upper lens member. 제 11 항에 있어서, The method of claim 11, 상기 상부 격벽과 하부 격벽은 각각 렌즈 요소를 둘러싸고 상기 렌즈 요소의 높이보다 높으며 상부면이 평평한 형태인 것을 특징으로 하는 결상 렌즈의 제조 방법. And the upper and lower partition walls respectively surround the lens element, are higher than the height of the lens element, and have a flat top surface. 제 11 항에 있어서, The method of claim 11, 상기 제 2 투명 기판을 절단하는 단계는 Cutting the second transparent substrate is 상기 상부 격벽 또는 하부 격벽에 대해 다이싱 테이프를 접착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 결상 렌즈의 제조 방법. Adhering a dicing tape to the upper partition wall or the lower partition wall. 제 8 항에 있어서, The method of claim 8, 상기 하부 렌즈 부재를 복제 형성하는 단계는 Replicating the lower lens member 상기 제 2 투명 기판과 상기 하부 렌즈 부재 사이에 IR(infrared ray) 차단 막을 구비하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 결상 렌즈의 제조 방법. And providing an infrared ray blocking film between the second transparent substrate and the lower lens member. 제 8 항에 있어서, The method of claim 8, 상기 복수의 상부 렌즈 부재를 제 2 투명 기판상에 형성하는 단계는 Forming the plurality of upper lens members on a second transparent substrate 상기 제 2 투명 기판과 상기 상부 렌즈 부재 사이에 스탑(stop)을 구비하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 결상 렌즈의 제조 방법. And a stop between the second transparent substrate and the upper lens member. 제 8 항에 있어서, The method of claim 8, 상기 복수의 상부 렌즈 부재를 제 2 투명 기판상에 형성하는 단계는 Forming the plurality of upper lens members on a second transparent substrate 상기 상부 렌즈 부재를 형성하기 위한 렌즈용 투명 폴리머에 대해 UV를 조사하여 경화시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 결상 렌즈의 제조 방법. And irradiating and curing the transparent polymer for lenses for forming the upper lens member with UV. 제 8 항에 있어서, The method of claim 8, 상기 하부 렌즈 부재를 복수개 형성하는 단계는 Forming a plurality of the lower lens member is 상기 하부 렌즈 부재를 형성하기 위한 렌즈용 투명 폴리머에 대해 UV를 조사하여 경화시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 결상 렌즈의 제조 방법. And irradiating UV and curing the transparent polymer for a lens for forming the lower lens member. 제 8 항에 있어서, The method of claim 8, 상기 복수의 상부 렌즈 부재를 제 2 투명 기판상에 형성하는 단계는 Forming the plurality of upper lens members on a second transparent substrate 상기 상부 렌즈 부재에 대해 Ti, TiN, MoSi, SiNO, SiC, MoO3, Si3N4, AlGaAs, GaAs, CdSe 및 Inp의 일군에서 선택된 어느 하나의 금속성 재질, 또는 비정질 카본(amorphous carbon) 계열의 유기성 반사 방지막(organic bottom ARC)으로 이루어진 반사 방지막을 코팅하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 결상 렌즈의 제조 방법. For the upper lens member, any one of a metallic material selected from the group of Ti, TiN, MoSi, SiNO, SiC, MoO 3 , Si 3 N 4 , AlGaAs, GaAs, CdSe, and Inp, or amorphous carbon series A method of manufacturing an imaging lens, comprising coating an antireflection film made of an organic antireflection film. 제 8 항에 있어서, The method of claim 8, 상기 하부 렌즈 부재를 복수개 형성하는 단계는 Forming a plurality of the lower lens member is 상기 하부 렌즈 부재에 대해 Ti, TiN, MoSi, SiNO, SiC, MoO3, Si3N4, AlGaAs, GaAs, CdSe 및 Inp의 일군에서 선택된 어느 하나의 금속성 재질, 또는 비정질 카본(amorphous carbon) 계열의 유기성 반사 방지막(organic bottom ARC)으로 이루어진 반사 방지막을 코팅하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 결상 렌즈의 제조 방법. For the lower lens member, any one of metallic materials selected from the group of Ti, TiN, MoSi, SiNO, SiC, MoO 3 , Si 3 N 4 , AlGaAs, GaAs, CdSe, and Inp, or amorphous carbon series A method of manufacturing an imaging lens, comprising coating an antireflection film made of an organic antireflection film.
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Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5510883B2 (en) * 2008-08-01 2014-06-04 日本電気硝子株式会社 Lens array
WO2010129039A1 (en) * 2009-05-05 2010-11-11 Tessera Technologies Hungary Kft. Folded optic, camera system including the same, and associated methods
JP5401227B2 (en) * 2009-09-16 2014-01-29 富士フイルム株式会社 Wafer level lens array manufacturing method, wafer level lens array, lens module, and imaging unit
WO2012100230A1 (en) * 2011-01-20 2012-07-26 Fivefocal, Llc Passively athermalized infrared imaging system and methods of manufacturing same
US9477061B2 (en) 2011-01-20 2016-10-25 Fivefocal Llc Passively aligned imaging optics and method of manufacturing the same
US9465175B2 (en) * 2014-07-23 2016-10-11 Sifotonics Technologies Co., Ltd. Integrated lens-array-on-substrate for optical coupling system and fabrication method thereof
CN114442439B (en) * 2022-01-20 2024-09-24 东北师范大学 Integrated ultraviolet all-medium superlens group for photoetching machine

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07130256A (en) * 1993-10-28 1995-05-19 Kyocera Corp Imaging device
JPH09197239A (en) * 1997-01-13 1997-07-31 Jiyuraron Kogyo Kk Production of plastic lens
KR100313902B1 (en) 1999-10-19 2001-11-15 구자홍 method for fabricating micro-lens
JP2002072037A (en) 2000-09-01 2002-03-12 Sony Corp Optical system, method of manufacturing optical system and optical pickup

Family Cites Families (35)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5079130A (en) * 1990-05-25 1992-01-07 At&T Bell Laboratories Partially or fully recessed microlens fabrication
US5225244A (en) * 1990-12-17 1993-07-06 Allied-Signal Inc. Polymeric anti-reflection coatings and coated articles
JP3095812B2 (en) * 1991-06-21 2000-10-10 オリンパス光学工業株式会社 Method for manufacturing composite optical element and composite optical element
US6408402B1 (en) * 1994-03-22 2002-06-18 Hyperchip Inc. Efficient direct replacement cell fault tolerant architecture
EP0735361B1 (en) * 1995-03-31 2006-05-31 LINTEC Corporation Apparatus for inspecting semiconductor substrates
JP2000301550A (en) 1999-04-23 2000-10-31 Mark:Kk Manufacture of microlens array
JP2002355826A (en) * 2001-05-31 2002-12-10 Omron Corp Method for producing lens part for optical communication
US7785098B1 (en) * 2001-06-05 2010-08-31 Mikro Systems, Inc. Systems for large area micro mechanical systems
US20030115907A1 (en) * 2001-09-07 2003-06-26 Patton Edward K. Multiple lens molding system and method
CN1291847C (en) * 2001-09-28 2006-12-27 日本板硝子株式会社 Resin lens array and optical writing head
US6700708B2 (en) * 2002-05-30 2004-03-02 Agere Systems, Inc. Micro-lens array and method of making micro-lens array
JP2004088713A (en) * 2002-06-27 2004-03-18 Olympus Corp Imaging lens unit and imaging device
CN1584743A (en) * 2003-07-24 2005-02-23 三星电子株式会社 Method of manufacturing micro-lens
EP1542074A1 (en) 2003-12-11 2005-06-15 Heptagon OY Manufacturing a replication tool, sub-master or replica
EP2631085B1 (en) * 2004-04-30 2019-04-24 De La Rue International Limited Arrays of microlenses and arrays of microimages on transparent security substrates
EP1626571A1 (en) * 2004-08-13 2006-02-15 STMicroelectronics Limited Imaging assembly
US7329856B2 (en) * 2004-08-24 2008-02-12 Micron Technology, Inc. Image sensor having integrated infrared-filtering optical device and related method
TWM267459U (en) * 2004-11-19 2005-06-11 Hon Hai Prec Ind Co Ltd Camera lens
FI117728B (en) * 2004-12-21 2007-01-31 Planar Systems Oy Multilayer structure and process for its preparation
KR100593895B1 (en) 2004-12-21 2006-06-28 삼성전기주식회사 Camera module with replica lens
KR100688831B1 (en) * 2005-02-04 2007-03-02 삼성전기주식회사 Lens holder assembly for optical pickup and manufacturing method thereof
CN1831575B (en) * 2005-03-11 2013-02-13 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 Lens structure of digital camera
US7502169B2 (en) * 2005-12-07 2009-03-10 Bright View Technologies, Inc. Contrast enhancement films for direct-view displays and fabrication methods therefor
US20070139792A1 (en) * 2005-12-21 2007-06-21 Michel Sayag Adjustable apodized lens aperture
US20070216046A1 (en) * 2006-03-20 2007-09-20 Heptagon Oy Manufacturing miniature structured elements with tool incorporating spacer elements
CN101086546A (en) * 2006-06-09 2007-12-12 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 Lens module and camera module
US7903338B1 (en) * 2006-07-08 2011-03-08 Cirrex Systems Llc Method and system for managing light at an optical interface
KR20080038929A (en) * 2006-10-31 2008-05-07 삼성전기주식회사 Infrared barrier integrated lens and camera module using same
US7692256B2 (en) * 2007-03-23 2010-04-06 Heptagon Oy Method of producing a wafer scale package
CN101344600B (en) * 2007-07-13 2011-01-26 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 Production method of plated film lens
US7923298B2 (en) * 2007-09-07 2011-04-12 Micron Technology, Inc. Imager die package and methods of packaging an imager die on a temporary carrier
TWI402979B (en) * 2007-12-13 2013-07-21 Sharp Kk Electronic component wafer module, electronic component module, sensor wafer module, sensor module, lens array disk, sensor module manufacturing method, and electronic information device
US20090206431A1 (en) * 2008-02-20 2009-08-20 Micron Technology, Inc. Imager wafer level module and method of fabrication and use
JP4966931B2 (en) * 2008-08-26 2012-07-04 シャープ株式会社 Electronic element wafer module and manufacturing method thereof, electronic element module and manufacturing method thereof, electronic information device
US8000041B1 (en) * 2010-09-20 2011-08-16 Visera Technologies Company Limited Lens modules and fabrication methods thereof

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07130256A (en) * 1993-10-28 1995-05-19 Kyocera Corp Imaging device
JPH09197239A (en) * 1997-01-13 1997-07-31 Jiyuraron Kogyo Kk Production of plastic lens
KR100313902B1 (en) 1999-10-19 2001-11-15 구자홍 method for fabricating micro-lens
JP2002072037A (en) 2000-09-01 2002-03-12 Sony Corp Optical system, method of manufacturing optical system and optical pickup

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